伊福廷
- 作品数：139 被引量：132H指数：6
- 供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺理学机械工程更多>>
- 硅光电池纳米织构化P-N结结构及其制作方法
- 本发明公开了一种硅光电池纳米织构化P-N结结构及其制作方法，该方法包括：在硅片表面生长一层氯化铯薄膜；将表面具有氯化铯薄膜的硅片放入一定湿度的通气腔体内显影，在硅片表面形成氯化铯纳米圆岛结构；对表面具有氯化铯纳米圆岛结构...
- 刘静伊福廷
- 文献传递
- LIGA—EDM复合技术的研究
- 2001年
- 提出LIGA-EDM复合技术技术，即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术，通过同步辐射尝试光刻得到的胶结构厚度达2mm深宽比约为100，使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工县电极，利用该电极进行微细电火花加工实验，在不锈钢上加工出异形小孔阵列．
- 彭良强伊福廷张院春邹丽芸李勇张菊芳韩勇
- 关键词：微加工电铸微机械微细电火花加工
- 微型磁力步进电机的制造方法
- 本发明是一种微电机的制造方法,其中包括如下步骤:步骤1．利用LIGA工艺技术,制造电机定子;步骤2．利用LIGA工艺技术,制造电机转子;步骤3．利用LIGA工艺技术,制造电机的盖板;步骤4．利用精密机械加工技术,制造其它...
- 伊福廷
- 文献传递
- X光纳米充刻掩模的离子束制备法
- 2001年
- 重离子柬轰击聚碳酸酯后．对样品进行陈化和紫外线照射数化，在优化条件下蚀刻后得到纳米孔径核孔膜。利用电化学沉积技术在核孔膜中制备了最小孔径为30纳米的铜纳米线。获得的钥纳米线／聚碳酸酯可以作为x光纳米光刻的腌膜。
- 韩勇彭良强巨新伊福廷张菊芳吴自玉
- 关键词：X光光刻纳米线掩模电化学沉积高能重离子
- 一种有效的气冷低温恒温控制系统
- 本实用新型公开了一种有效的气冷低温恒温控制系统，它涉及低温的恒温控制系统领域。包括储气装置、冷气装置和传感器及自动PID控制设备，储气装置与冷气装置相连，冷气装置与传感器及自动PID控制设备相连；所述的储气装置包括储气瓶...
- 刘树虎郑雷赵屹东唐坤伊福廷李建民
- 质子LIGA工艺的探讨
- 提出采用掩模法的质子LIGA方法,即利用厚胶光刻产生掩模,然后进行质子束深度刻蚀,显影获得微结构.根据TRIM96程序进行模拟计算,结果表明该方法可以获得深度达数毫米、深度比为30以上的微结构.利用通常的LIGA工艺制备...
- 彭良强徐韬光韩勇伊福廷张菊芳
- 关键词：微细加工质子束微型机电系统
- 文献传递
- 氯化铯纳米岛生长技术
- 2008年
- 氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率。氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率主要取决于氯化铯薄膜厚度、显影时间和相对湿度,其中膜厚的影响最大。通常在其他条件不变的情况下,薄膜越厚覆盖率越高,而显影时间越长覆盖率则可能越低。在厚度、相对湿度一定的情况下,显影时间较短时,岛结构以小直径为主,随着时间增加,该结构直径分布变得均匀,并且以大直径为主,两者都大致符合高斯分布。
- 罗亮伊福廷张菊芳
- 关键词：自组装技术纳米加工技术
- 利用LIGA技术研制超微步进电机被引量：2
- 2001年
- 文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成 ,线圈由手工在显微镜下绕制完成 ,转子直径 2mm ,整个电机直径 5mm。
- 伊福廷彭良强张菊芳韩勇
- 关键词：超微步进电机LIGA技术微加工技术
- BSRF上的微细塑铸研究
- 2003年
- 利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精度 ,但若不进行工艺参数优化 。
- 韩勇彭良强陈迪伊福廷张菊芳黄军容
- 关键词：BSRF同步辐射装置
- 3B1束线上LIGA掩模的设计研究
- 2003年
- BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算 ,分别得到了专用和兼用时 3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据 ,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模 :Au PI组合和Au Si组合。
- 黄军容彭良强伊福廷蒋毅坚张菊芳韩勇
- 关键词：光刻工艺掩模X射线
