张菊芳
- 作品数：47 被引量：64H指数：4
- 供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺理学核科学技术更多>>
- 微细电火花成形电极的制造方法
- 本发明一种微细电火花成形电极的制造方法,其中包括如下步骤:(1)在导电基底上涂上一层厚度为毫米、亚毫米量级的光刻胶;(2)置于掩模下曝光;(3)显影,得到胶结构;(4)在胶结构上电镀金属或合金;(5)去胶,得到微细电极。
- 彭良强伊福廷张菊芳韩勇
- 文献传递
- 深亚微米X射线光刻模拟软件XLSS1.0
- 2004年
- 介绍了一套自行研制的深亚微米同步辐射X射线光刻模拟软件———XLSS1 0。该软件基于面向对象技术,采用束衍生法及快速傅里叶变换相结合的方法来研究X射线掩模中吸收体的光导波效应,对光刻胶表面空间光强分布及光刻胶剖面进行了精确模拟计算,发现模拟结果与实验结果吻合很好,且模拟结果的特征尺寸宽度与实验结果的特征尺寸宽度误差小于±10%。
- 谢常青王德强陈大鹏叶甜春伊福廷韩勇张菊芳
- 关键词：X射线光刻面向对象编程
- LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究被引量：4
- 2002年
- 通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽 70 μm、厚度达 73 0 μm的铜工具电极 ,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽 90 μm、具有复杂形状的微结构。
- 彭良强伊福廷张院春邹丽芸张菊芳韩勇
- 关键词：LIGAEDM技术不锈钢微结构微细加工电火花加工
- 同步辐射x射线光刻实验研究被引量：1
- 1997年
- 采用侧墙工艺技术研制深亚微米ｘ射线掩模，并在北京同步辐射装置光刻束线上进行了同步辐射ｘ射线曝光实验。
- 谢常青陈梦真赵玲莉孙宝银韩敬东朱樟震张菊芳
- 关键词：X射线光刻X射线掩模
- 利用LIGA技术制造夹钳
- 1999年
- 在航天、国防、医学、核物理等领域，有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下，精密机械加工、 Ｌ Ｉ Ｇ Ａ 技术以及硅技术有了长足发展，制造出许多部件和产品。但对于复杂的微机电系统，单靠这些技术难以实现，需要进行系统的装配工作。微夹钳也是在这一需求下发展起来的。除此之外，在细胞操作和其他微细操作过程中也迫切需要这样的执行软件。本文利用 Ｌ Ｉ Ｇ Ａ 技术进行了这方面的研究工作，并得到了一些结果。
- 伊福廷唐鄂生张菊芳晋明洗鼎昌
- 关键词：LIGA技术微机械微机器人夹钳
- 50nm及50nm以下同步辐射X射线光刻光束线设计被引量：1
- 2004年
- X射线光刻相对于其他下一代光刻技术而言有许多优点,比如其工艺宽容度大、成品率高、景深大、曝光视场大、成本低等,更为重要的是,其技术已经比较成熟。对于 100nm 同步辐射 X 射线光刻系统而言,它采用的波长通常为 0.7—1.0nm,而当光刻分辨率达到 50nm 以下时,采用的同步辐射 X 射线波长范围应该为 0.2—0.4 nm。探讨了在北京同步辐射 3B1A 光刻束线上进行 50nm X 射线光刻的可能性。
- 谢常青陈大鹏李兵叶甜春伊福廷彭良强韩勇张菊芳
- 关键词：X射线光刻光刻分辨率
- 利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列
- 金属微孔在许多领域内有着巨大的需求,电火花、激光打孔、化学腐蚀及光刻等技术被开发用于各种需求的金属微孔加工。迷你雾化器产品需要有一定锥度的金属微孔片,满足该产品的需要,利用光刻和电镀技术完成了该雾化器特殊金属微孔结构的制...
- 伊福廷张菊芳侯凤杰
- 关键词：微加工光刻
- 文献传递
- LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究被引量：1
- 2002年
- LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点 ,是一种先进的微细加工方法。实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中 ,能获得传统加工方法无法制作出的薄壁网状多孔镍结构 ,满足新型正电子慢化体的制备要求。
- 黄军容彭良强伊福廷于润升魏龙蒋毅坚张菊芳韩勇
- 关键词：LIGA技术电铸
- 微细电火花加工用的成形电极的制造方法
- 本发明涉及一种微细电火花加工用的成形电极的制造方法，其中包括如下步骤：(1)在导电基底上涂上一层厚度为毫米、亚毫米量级的光刻胶；(2)置于掩模下曝光；(3)显影，得到胶结构；(4)在胶结构上电镀金属或合金；(5)去胶，得...
- 彭良强伊福廷张菊芳韩勇
- 文献传递
- LIGA—EDM复合技术的研究
- 2001年
- 提出LIGA-EDM复合技术技术，即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术，通过同步辐射尝试光刻得到的胶结构厚度达2mm深宽比约为100，使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工县电极，利用该电极进行微细电火花加工实验，在不锈钢上加工出异形小孔阵列．
- 彭良强伊福廷张院春邹丽芸李勇张菊芳韩勇
- 关键词：微加工电铸微机械微细电火花加工
