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张巍

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信

主题

  • 5个盲孔
  • 5个晶圆
  • 4个单步
  • 4个电镀
  • 4个对准标记
  • 4个埋氧层
  • 3个电流
  • 3个电流电压
  • 3个电流电压表
  • 3个电路
  • 3个电路设计
  • 3个电压
  • 3个电压表
  • 3个迭代
  • 3个多步
  • 3个扇贝
  • 3个清洗方法
  • 3个清洗液
  • 3个去离子
  • 3个去离子水

机构

  • 5个中国航天科技...

资助

  • 1个中国人民解放...

传媒

  • 1个电子工艺技术

地区

  • 5个陕西省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
刘松
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
单光宝
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙有民
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁海
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV RDL 硅晶圆 光刻分辨率 胶层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜欣荣
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV SOI衬底 刻蚀 晶圆 盲孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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