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杜欣荣

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信

主题

  • 6个盲孔
  • 6个晶圆
  • 5个电镀
  • 5个电流
  • 5个电流电压
  • 5个电流电压表
  • 5个电压
  • 5个电压表
  • 5个通孔
  • 5个重掺杂
  • 5个子层
  • 5个阻挡层
  • 4个单步
  • 4个对准标记
  • 4个多步
  • 4个扇贝
  • 4个清洗方法
  • 4个清洗液
  • 4个去离子
  • 4个去离子水

机构

  • 6个中国航天科技...

地区

  • 6个陕西省
共 6 条 记 录，以下是 1-6
孙有民
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
单光宝
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李翔
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 绝缘工艺 芯片面积 绝缘层 SOI衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺欣
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV SOI衬底 绝缘层 晶圆 盲孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张巍
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV SOI衬底 RDL 硅晶圆 光刻分辨率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘松
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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