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蒋浩杰
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中国科学院微电子研究所
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文化科学
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合作作者
李俊峰
中国科学院微电子研究所
赵玉印
中国科学院微电子研究所
刘新宇
中国科学院微电子研究所
白云
中国科学院微电子研究所
熊文娟
中国科学院微电子研究所
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 ALGAN/GAN
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赵玉印
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 掩模 反应离子刻蚀 多晶硅栅 碳化硅
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申华军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 刻蚀 欧姆接触 INGAP/GAAS_HBT 肖特基二极管
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白云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 肖特基二极管 SIC
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杨谦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 掩模 刻蚀 衬底 场板
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汤益丹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 含氧气体 肖特基接触
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熊文娟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底 锗 波导结构 波导传输 光电探测器
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王大海
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:垂直腔面发射激光器 GAN 半导体器件 晶圆片 散热能力
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钱鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
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