您的位置： 专家智库 > >

马慧莉

作品数：23 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 9个电子电信
  • 7个金属学及工艺
  • 4个电气工程
  • 4个理学
  • 3个机械工程
  • 3个自动化与计算...
  • 3个一般工业技术
  • 2个化学工程
  • 2个文化科学
  • 1个生物学
  • 1个矿业工程
  • 1个冶金工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个水利工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个环境科学与工...
  • 1个核科学技术

主题

  • 9个纳米
  • 9个刻蚀
  • 9个干法刻蚀
  • 8个电极
  • 8个湿法腐蚀
  • 8个相变存储
  • 8个相变存储器
  • 8个量子
  • 8个量子点
  • 8个衬底
  • 7个电子束曝光
  • 7个淀积
  • 7个掩模
  • 7个自对准
  • 7个纳米线
  • 7个光刻
  • 7个光刻胶
  • 6个移植性
  • 6个线宽
  • 5个旋涂

机构

  • 10个中国科学院
  • 2个四川大学
  • 2个中国科学院大...
  • 1个大连铁道学院
  • 1个大连理工大学
  • 1个中国科学院微...
  • 1个中国航空工业...
  • 1个中国科学院西...
  • 1个中煤科工集团...

资助

  • 9个国家自然科学...
  • 5个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个天津市应用基...
  • 3个国家电网公司...
  • 2个教育部留学回...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个北京市科技计...
  • 2个国家攀登计划
  • 2个中国科学院仪...
  • 2个中国科学院战...
  • 2个中国科学院科...
  • 1个高等学校骨干...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个教育部跨世纪...
  • 1个山东省优秀中...
  • 1个广西壮族自治...

传媒

  • 7个微纳电子技术
  • 5个Journa...
  • 3个半导体技术
  • 3个激光与光电子...
  • 3个光子学报
  • 3个发光学报
  • 3个物理化学学报
  • 3个光谱学与光谱...
  • 3个影像科学与光...
  • 2个物理学报
  • 2个电子学报
  • 2个红外
  • 2个红外与毫米波...
  • 2个电源技术
  • 1个现代化工
  • 1个光电子．激光
  • 1个红外与激光工...
  • 1个材料科学与工...
  • 1个硅酸盐通报
  • 1个振动．测试与...

地区

  • 10个北京市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
杨富华
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张加勇
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：纳米尺寸 相变存储器 淀积 干法刻蚀 相变材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓东
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程凯芳
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：相变存储器 纳米尺寸 相变材料 淀积 抛光表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
季安
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：湿法腐蚀 MEMS压力传感器 干法刻蚀 自对准 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付英春
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：相变存储器 自对准 相变材料 干法刻蚀 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁秀琴
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：干法刻蚀 自对准 电子束曝光 光刻胶 SIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白云霞
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：干法刻蚀 自对准 电子束曝光 可调谐光滤波器 移植性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐晓娜
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：存储器 充电状态 二维电子气 抗蚀剂 动态随机存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：激光 激光退火 缓冲层 脉冲激光 相变存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0