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冷兴龙
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36
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
夏洋
中国科学院微电子研究所
赵丽莉
中国科学院微电子研究所
李楠
中国科学院微电子研究所
屈芙蓉
中国科学院微电子研究所
刘涛
中国科学院微电子研究所
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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赵丽莉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 离子注入 菲涅耳波带片 注入机 特性参数
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李楠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
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刘涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 白光干涉 激光干涉 蓝宝石 近场光学
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屈芙蓉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
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刘键
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 ALGAN/GAN ALGAN/GAN_HEMT 氮化碳薄膜 氮化碳
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卢维尔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
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刘杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
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景玉鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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