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冷兴龙

作品数:36 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
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领域

  • 13个电子电信
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主题

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  • 5个导体
  • 5个等离子
  • 5个等离子体处理

机构

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资助

  • 12个国家自然科学...
  • 9个国家重点基础...
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传媒

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  • 3个仪表技术与传...
  • 3个电子器件

地区

  • 12个北京市
  • 1个广东省
13 条 记 录,以下是 1-10
夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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赵丽莉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 离子注入 菲涅耳波带片 注入机 特性参数
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李楠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 白光干涉 激光干涉 蓝宝石 近场光学
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屈芙蓉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
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刘键
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 ALGAN/GAN ALGAN/GAN_HEMT 氮化碳薄膜 氮化碳
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卢维尔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
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刘杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
景玉鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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