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曹共柏

作品数：10 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

领域

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机构

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传媒

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  • 3个微细加工技术

地区

  • 10个上海市
  • 2个江苏省
共 12 条 记 录，以下是 1-10
张峰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：注氧隔离 SOI 高温退火 波导 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林志浪
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：波导 反应离子刻蚀 原位合成 烧结助剂 制作方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王永进
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：波导 反应离子刻蚀 制作方法 掺ER 沉积速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈志君
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：掺ER 波导 ER 反应离子刻蚀 光致发光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程新利
供职机构：苏州科技大学
研究主题：非晶薄膜 极板 敏感元件 谐振电抗器 FE-ZR-B
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈云飞
供职机构：东南大学
研究主题：纳米孔 分子动力学 分子动力学模拟 导热系数 电渗流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖海波
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：掺ER AL ER 富硅氧化硅 光致发光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高凡
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：多模干涉耦合器 波导光开关 SOI 集成光学 多模干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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