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章军云
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
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金属学及工艺
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合作作者
高建峰
中国电子科技集团公司第五十五研...
吴少兵
中国电子科技集团公司第五十五研...
林罡
中国电子科技集团公司第五十五研...
王溯源
中国电子科技集团公司第五十五研...
潘斌
中国电子科技集团公司第五十五研...
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高建峰
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:砷化镓 赝配高电子迁移率晶体管 高电子迁移率晶体管 掺杂 介质
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吴少兵
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:金属 空气桥 微波毫米波 挖槽 阳极
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林罡
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:化合物半导体器件 半导体器件 砷化镓 高电子迁移率晶体管 击穿电压
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王溯源
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:套刻 扫描式 测试套 干法刻蚀 光刻机
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潘斌
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:衬底 超声清洗 超大功率 操作工艺 参照系
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康耀辉
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:成品率 T形栅 寄生参数 介质 小尺寸
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马飞
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:侧蚀 半导体表面 赝配高电子迁移率晶体管 栅介质 栅结构
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薛舫时
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:HFET 电流崩塌 GAN 势垒 沟道
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朱赤
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:各向异性刻蚀 赝配高电子迁移率晶体管 频率特性 砷化镓 高电子迁移率晶体管
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黄念宁
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:超薄 ALGAN/GAN高电子迁移率晶体管 背面金属化 半导体 耗尽型
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