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彭开武

作品数：17 被引量：16H指数：3
供职机构：国家纳米科学中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
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合作作者

领域

  • 21个电子电信
  • 21个自动化与计算...
  • 19个一般工业技术
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主题

  • 21个纳米
  • 19个电子束曝光
  • 17个光刻
  • 16个电子束
  • 15个电镜
  • 15个图像
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机构

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  • 1个中北大学
  • 1个中国人民解放...

资助

  • 15个国家自然科学...
  • 12个国家重点基础...
  • 10个国家高技术研...
  • 10个中国科学院知...
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传媒

  • 18个微细加工技术
  • 14个第十二届全国...
  • 13个第十一届全国...
  • 12个电子显微学报
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  • 10个第十三届全国...
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  • 5个物理学报
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  • 5个光学学报
  • 4个科学通报

地区

  • 27个北京市
  • 1个天津市
共 28 条 记 录，以下是 1-10
顾文琪
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张福安
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 电子束曝光 亚微米 电子束 透射电镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴桂君
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：缩小投影电子束曝光 微细加工 电子束曝光 透射电镜 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
靳鹏云
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光 电子束 图形发生器 SEM 扫描电子显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方光荣
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：图形发生器 电子束曝光机 电子束 电子束曝光 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷伯华
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束 原子力显微镜 扫描电子显微镜 电子枪 AFM
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范伟民
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：仪器管理 成像质量 自动化领域 实时图像 灯丝
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
初明璋
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：原子力显微镜 电子束 二硼化镁 进针 单质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭延军
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：锂离子电池正极材料 拉曼光谱 热电性能 测量方法 波动信号
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田丰
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光 微电子产业 高能 环状 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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