靳鹏云
- 作品数：30 被引量：15H指数：2
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- 电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术被引量：1
- 2002年
- 介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理 ,阐述数字处理技术在对准系统中的应用 ,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计 。
- 史强靳鹏云张福安
- 电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统
- 电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统，包括CPLD逻辑电路模块(1)、X方向高速光电隔离模块(2)、Y方向高速光电隔离模块(3)、X方向16位高速高精度数模转换模块(4)、Y方向16位高速高精度数模转换模块(5)、...
- 方光荣殷伯华靳鹏云彭开武
- 文献传递
- 一种利用内部电流感应驱动的电推进装置
- 本发明提供一种利用内部电流感应驱动的电推进装置，其包括卷绕的两层导电薄膜及间隔的绝缘薄膜、金属筒次级、导向筒以及外电路等：金属筒次级位于导向筒内部，在导向筒外卷绕两层导电薄膜，导电薄膜间有绝缘薄膜，导电薄膜和绝缘薄膜相间...
- 王厚生王建超马本栋靳鹏云崔智明王力猛孙屹康李然彭爱武
- PI参数自整定扫描探针显微镜控制器的设计
- 2008年
- 为了解决传统扫描探针显微镜(SPM)控制器中参数难以设定的难题,提出了一种SPM的PI参数自整定控制器的设计,并给出了控制器的硬件结构和软件设计。该控制器基于DSP,通过引入扫描式参数优化算法来实现。结果表明,该控制器能自动完成PI参数的测算,并给出最优的PI参数,提高了SPM扫描图像的质量。
- 侯锡立靳鹏云
- 关键词：扫描探针显微镜DSP
- 小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文)被引量：2
- 2010年
- 为了满足科学实验过程中对制作半导体器件和微纳米结构的需要,同时避免受到昂贵的工业级电子束曝光(electron beam lithography,EBL)机的条件制约,构建了一种基于普通扫描电子显微镜(scanning electron microsco-py,SEM)的桌面级小型电子束曝光系统.建立了以浮点DSP为控制核心的高速图形发生器硬件系统.利用线性计算方法实现了电子束曝光场的增益、旋转和位移的校正算法.在本曝光系统中应用了新型压电陶瓷电机驱动的精密位移台来实现纳米级定位.利用此位移台所具有的纳米定位能力,采用标记追逐法实现了电子束曝光场尺寸和形状的校准.电子束曝光实验结果表明,场拼接及套刻精度误差小于100 nm.为了测试曝光分辨率,在PMMA抗蚀剂上完成了宽度为30 nm的密集线条曝光实验.利用此系统,在负胶SU8和双层PMMA胶表面进行了曝光实验;并通过电子束拼接和套刻工艺实现了氮化物相变存储器微电极的电子束曝光工艺.
- 殷伯华方光荣刘俊标靳鹏云薛虹吕士龙
- 关键词：图形发生器
- 电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用被引量：1
- 2002年
- 介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形 ,模拟出标记对准的背散射信号 ,并与实际实验信号图形进行了对比。
- 史强靳鹏云张福安
- 高能电子束曝光技术研究
- 2004年
- 介绍了将商用透射电镜JEM-2000EX改造为高能电子束曝光系统的研制工作,在现阶段研制工作的基础上进行了曝光实验。结果表明,利用此高能电子束曝光系统可以制备出纳米线条,并且能够制备出具有高深宽比的微细结构,从而为微小器件的加工提供了新的方法。
- 田丰靳鹏云彭开武韩立顾文琪
- 关键词：电子束曝光高能透射电镜
- 基于SEM纳米级电子束曝光机的快速束闸设计被引量：2
- 2008年
- 基于扫描电镜(SEM)的纳米级电子束曝光系统能够以较低成本满足科研单位对纳米加工设备的需求。在电子束曝光系统中,需要快速束闸控制电子束通断以实现纳米图像的多场曝光。从安装位置、机械结构和驱动器等方面讨论快速束闸的设计。
- 刘俊标方光荣靳鹏云薛虹张福安顾文琪
- 关键词：电子束曝光扫描电子显微镜图形发生器
- 基于微悬臂梁的传感技术研究被引量：3
- 2010年
- 本文对基于微悬臂梁的传感技术从四方面展开讨论,分别介绍了微悬臂梁的制造工艺,修饰技术,激励、检测和控制技术,以及与其它电路的工艺集成技术。微悬臂梁在液体中,工作在动态模式时,品质因数的提高问题一直是国内外研究的焦点。本文的重点便是介绍国际上最新出现的两种品质因子控制技术,一种是对微悬臂梁的材料进行了改进,使其在水溶液的品质因数达到40,另一种是把液体环境转移到悬臂梁内部,使其在水溶液中的品质因数达到700。
- 张奇任权靳鹏云韩立
- 关键词：微悬臂梁传感技术品质因数
- 一种具有定中导向功能的直线感应电机次级导体板永磁结构
- 本实用新型涉及一种具有定中导向功能的直线感应电机次级导体板永磁结构，其为直线电机次级导体板消除横向偏移和振动的结构，次级导体板底部NS交错镶嵌永磁磁体结构，在地面敷设相对于次级导体板对称的导体修正轨道，在次级导体板高速运...
- 王厚生李耀华马本栋王建超靳鹏云白洁孙屹康史黎明
