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王永录
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供职机构:
西安微电子技术研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
机械工程
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合作作者
单光宝
西安微电子技术研究所
阮晓明
西安微电子技术研究所
姚军
西安微电子技术研究所
李兴凯
西安微电子技术研究所
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单光宝
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS TSV 硅微加速度计 MEMS器件 掩膜
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供职机构
所获资助
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阮晓明
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:石英挠性加速度计 差动电容 伺服电路 力矩器 标度因数
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
李兴凯
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS器件 微机械陀螺仪 封装 武器
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相关人物
供职机构
所获资助
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姚军
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS 掩膜 硅微加速度计 高抗 红外测温
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相关人物
供职机构
所获资助
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