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李兴凯

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：西安微电子技术研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇陀螺
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇微机械陀螺
  • 1篇微机械陀螺仪
  • 1篇武器
  • 1篇封装
  • 1篇MEMS器件

机构

  • 2篇西安微电子技...

作者

  • 2篇李兴凯
  • 2篇单光宝
  • 1篇陈福山
  • 1篇刘佑宝
  • 1篇王永录

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇电子元器件应...

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微型硅加速度传感器
2003年
介绍微型硅加速度传感器的研制概况,阐述微型硅电容式加速度传感器的工作原理、制作工艺技术,并对封装后的测试结果进行分析与探讨。
王永录李兴凯单光宝
关键词：封装武器
微陀螺仪敏感芯片的选择性电铸技术研究被引量：1
2004年
介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术———选择性电铸技术。以金为检测电极、铜为牺牲层、正胶作为电铸胎膜,在牺牲层上经过数次电铸形成MEMS器件敏感芯片的各组成部分,腐蚀掉牺牲层后便得到了所需的敏感芯片。以微机械陀螺仪敏感芯片的制备为例,介绍了选择性电铸技术的工艺流程,进行了工艺流片,所制备的微机械陀螺仪敏感芯片结构完整、侧壁陡直、表面平整。该技术在电容式微加速度计及微机械陀螺仪等多种MEMS器件敏感芯片的制作中有广泛的应用前景。
单光宝刘佑宝李兴凯陈福山
关键词：MEMS器件微机械陀螺仪
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