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王永录

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：西安微电子技术研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇掩膜
  • 1篇微加速度计
  • 1篇武器
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇硅微加速度计
  • 1篇封装
  • 1篇MEMS

机构

  • 2篇西安微电子技...

作者

  • 2篇王永录
  • 2篇单光宝
  • 1篇李兴凯
  • 1篇姚军
  • 1篇阮晓明

传媒

  • 1篇电子元器件应...
  • 1篇第九届全国敏...

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微型硅加速度传感器
2003年
介绍微型硅加速度传感器的研制概况,阐述微型硅电容式加速度传感器的工作原理、制作工艺技术,并对封装后的测试结果进行分析与探讨。
王永录李兴凯单光宝
关键词：封装武器
利用'掩膜-无掩膜'腐蚀技术制作硅微加速度计
本文介绍了体硅'掩膜-无掩膜'腐蚀的工作原理;以摆片式硅微加速度计敏感芯片的制作为例详细介绍了'掩膜-无掩膜'的工艺流程;利用该方法成功制作出摆片式硅微加速度传感器的对称梁-质量块结构.经测试该加速度计性能如下:量程±5...
单光宝姚军阮晓明王永录
关键词：掩膜硅微加速度计MEMS
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