陈福山
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：西安微电子技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 用溅射法制备混合集成电路中的Cr·SiO薄膜电阻器
- 2002年
- 介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的薄膜电阻器基片,并已投入批量生产。
- 王军峰殷小莉陈福山
- 关键词：混合集成电路溅射TCR
- 用溅射法制备Cr·SiO薄膜电阻器
- 本文介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的成膜电阻器基片,并已投入批量生产.
- 王军峰殷小莉陈福山
- 关键词：HIC薄膜电阻器
- 文献传递
- 微陀螺仪敏感芯片的选择性电铸技术研究被引量：1
- 2004年
- 介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术———选择性电铸技术。以金为检测电极、铜为牺牲层、正胶作为电铸胎膜,在牺牲层上经过数次电铸形成MEMS器件敏感芯片的各组成部分,腐蚀掉牺牲层后便得到了所需的敏感芯片。以微机械陀螺仪敏感芯片的制备为例,介绍了选择性电铸技术的工艺流程,进行了工艺流片,所制备的微机械陀螺仪敏感芯片结构完整、侧壁陡直、表面平整。该技术在电容式微加速度计及微机械陀螺仪等多种MEMS器件敏感芯片的制作中有广泛的应用前景。
- 单光宝刘佑宝李兴凯陈福山
- 关键词：MEMS器件微机械陀螺仪
