您的位置： 专家智库 > >

卢维尔

作品数：113 被引量：28H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项北京市自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 31个电子电信
  • 26个一般工业技术
  • 25个理学
  • 23个自动化与计算...
  • 16个机械工程
  • 15个化学工程
  • 15个电气工程
  • 13个金属学及工艺
  • 12个文化科学
  • 6个交通运输工程
  • 4个经济管理
  • 3个轻工技术与工...
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个医药卫生
  • 2个生物学
  • 2个天文地球
  • 2个动力工程及工...
  • 2个核科学技术
  • 2个农业科学
  • 1个矿业工程

主题

  • 27个原子层沉积
  • 24个石墨
  • 24个刻蚀
  • 24个半导体
  • 24个掺杂
  • 23个光刻
  • 20个氧化锌
  • 20个金属
  • 20个ALD
  • 19个等离子体
  • 18个电场
  • 18个石墨烯
  • 17个电路
  • 17个光学
  • 15个单晶
  • 15个氧化锌薄膜
  • 14个电极
  • 14个多晶
  • 12个修饰
  • 10个氮化镓

机构

  • 32个中国科学院微...
  • 7个中国科学院
  • 6个浙江大学
  • 5个中国科学院大...
  • 5个嘉兴科民电子...
  • 4个中国科学技术...
  • 3个清华大学
  • 2个中国科学院嘉...
  • 1个东营职业学院
  • 1个北京大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个北京有色金属...
  • 1个辽宁工业大学
  • 1个山东大学
  • 1个中国科学院微...
  • 1个杭州中科微电...
  • 1个华进半导体封...
  • 1个北京智朗芯光...

资助

  • 23个国家自然科学...
  • 18个国家科技重大...
  • 13个国家重点基础...
  • 13个中国科学院科...
  • 12个国家高技术研...
  • 8个北京市自然科...
  • 8个中国博士后科...
  • 7个中国科学院知...
  • 3个北京市科技计...
  • 3个中国科学院“...
  • 2个教育部科学技...
  • 2个中国科学院微...
  • 2个中国科学院知...
  • 2个辽宁省科技厅...
  • 1个北京市科技新...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个山东省科技攻...
  • 1个山东省自然科...
  • 1个浙江省科技攻...

传媒

  • 15个半导体技术
  • 14个微纳电子技术
  • 14个真空科学与技...
  • 10个电子工业专用...
  • 9个物理学报
  • 9个光学学报
  • 9个无机材料学报
  • 8个微电子学
  • 7个Journa...
  • 7个材料导报
  • 7个发光学报
  • 7个光电工程
  • 7个传感器与微系...
  • 6个现代电子技术
  • 5个激光与光电子...
  • 5个光子学报
  • 5个仪表技术与传...
  • 4个光学精密工程
  • 4个物理
  • 4个功能材料

地区

  • 35个北京市
共 35 条 记 录，以下是 1-10
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵丽莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 离子注入 菲涅耳波带片 注入机 特性参数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
解婧
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董亚斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 锌源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张阳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 氧化锌 锌源 受主
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘涛
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 白光干涉 激光干涉 蓝宝石 近场光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冷兴龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 薄膜封装 前驱体 白光干涉 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共4页<1234>
聚类工具0