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王川
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10
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供职机构:
华南理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
广东省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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交通运输工程
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合作作者
陈蒲生
华南理工大学理学院应用物理系
刘小阳
华南理工大学理学院应用物理系
冯文修
华南理工大学理学院应用物理系
曾绍鸿
华南理工大学理学院应用物理系
黄世平
华南理工大学
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陈蒲生
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 热氮化 PECVD法
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所获资助
研究领域
刘小阳
供职机构:华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系
研究主题:XN PECVD法 SIO 介质膜 俄歇电子能谱
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
冯文修
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 二氧化硅 超薄
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供职机构
所获资助
研究领域
曾绍鸿
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:XN 轰击 SIO 晶体管 湿敏特性
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供职机构
所获资助
研究领域
章晓文
供职机构:工业和信息化部电子第五研究所
研究主题:可靠性 集成电路 热载流子注入效应 热载流子效应 电迁移
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供职机构
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黄世平
供职机构:香港中文大学
研究主题:SIO 二氧化硅 超薄 热氮化 SIC
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