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崔铮

作品数：5 被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 4个机械工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个理学
  • 3个化学工程
  • 3个一般工业技术
  • 2个金属学及工艺
  • 1个建筑科学
  • 1个水利工程
  • 1个交通运输工程

主题

  • 5个微细
  • 5个微细加工
  • 5个光刻
  • 4个衍射
  • 4个衍射光学
  • 4个衍射光学元件
  • 4个投影光刻
  • 4个透镜
  • 4个微透镜
  • 4个微透镜列阵
  • 4个抗蚀剂
  • 4个光刻技术
  • 3个电路
  • 3个电子束光刻
  • 3个软件设计
  • 2个调制
  • 2个影后
  • 2个闪耀光栅
  • 2个微光学
  • 2个微光学元件

机构

  • 5个中国科学院
  • 1个电子科技大学
  • 1个清华大学
  • 1个四川大学

资助

  • 5个国家重点实验...
  • 4个国家自然科学...
  • 3个国家重点基础...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个四川省自然科...
  • 1个中科院创新基...
  • 1个四川省青年科...
  • 1个广东省中国科...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国科学院重...

传媒

  • 5个光子学报
  • 5个微细加工技术
  • 4个光学学报
  • 4个光电工程
  • 3个中国激光
  • 2个光学精密工程
  • 2个Journa...
  • 2个应用激光
  • 2个强激光与粒子...
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  • 1个红外与激光工...
  • 1个世界科技研究...
  • 1个光电子技术与...
  • 1个物理
  • 1个光学技术
  • 1个激光杂志
  • 1个中国科学（E...
  • 1个光散射学报
  • 1个应用光学
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地区

  • 4个四川省
  • 1个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
周明宝
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衍射光学元件 表面形貌 相移干涉 误差分析 微结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范建兴
供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系
研究主题：计算机模拟 光刻技术 相位噪声 投影光刻 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林大键
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衍射光学元件 光刻 光学系统 表面形貌 I
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯伯儒
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周崇喜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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