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冯伯儒

作品数：109 被引量：225H指数：9
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金中国科学院重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 63篇期刊文章
  • 30篇专利
  • 14篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 69篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇理学
  • 3篇一般工业技术

主题

  • 76篇光刻
  • 44篇掩模
  • 30篇激光
  • 23篇相移掩模
  • 18篇光刻技术
  • 16篇干涉光刻
  • 14篇光刻系统
  • 11篇电路
  • 11篇集成电路
  • 10篇全息
  • 10篇抗蚀剂
  • 9篇激光干涉
  • 8篇衰减相移掩模
  • 8篇激光光刻
  • 8篇计算机
  • 8篇计算机模拟
  • 7篇微光刻
  • 7篇激光干涉光刻
  • 7篇光栅
  • 6篇光束

机构

  • 108篇中国科学院
  • 12篇四川大学
  • 8篇中国科学院微...
  • 4篇四川师范学院
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇宁波大学

作者

  • 108篇冯伯儒
  • 70篇张锦
  • 33篇侯德胜
  • 16篇刘娟
  • 16篇宗德蓉
  • 13篇姚汉民
  • 12篇陈芬
  • 11篇周崇喜
  • 8篇孙方
  • 7篇罗先刚
  • 7篇郭永康
  • 7篇苏平
  • 7篇蒋世磊
  • 6篇陈宝钦
  • 6篇陈旭南
  • 6篇王永茹
  • 5篇杜春雷
  • 4篇孙国良
  • 4篇林大键
  • 4篇范建兴

传媒

  • 26篇光电工程
  • 19篇微细加工技术
  • 4篇光子学报
  • 3篇光学学报
  • 2篇Journa...
  • 2篇应用激光
  • 2篇第十二届全国...
  • 2篇第十二届全国...
  • 2篇第十一届全国...
  • 2篇第十一届全国...
  • 2篇全国光电技术...
  • 2篇第九届全国电...
  • 1篇世界科技研究...
  • 1篇光电子技术与...
  • 1篇物理
  • 1篇激光杂志
  • 1篇应用光学
  • 1篇世界产品与技...
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇2002年全...

年份

  • 7篇2009
  • 11篇2006
  • 7篇2005
  • 6篇2004
  • 5篇2003
  • 6篇2002
  • 15篇2001
  • 11篇2000
  • 9篇1999
  • 2篇1998
  • 10篇1997
  • 5篇1996
  • 2篇1995
  • 4篇1994
  • 1篇1993
  • 1篇1992
  • 1篇1991
  • 1篇1990
  • 3篇1989
  • 1篇1987
共 109 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
激光在微电子器件制造中的应用被引量：3
1991年
本文比较系统地介绍了激光在半导体微电子器件制造中的应用。对准分子激光器与光刻技术、激光图形发生,全息掩模与硅片检测、掩模缺陷激光修补与激光化学气相沉积,以及其它方面的一些激光应用作了比较详细的叙述。
冯伯儒
关键词：半导体器件激光激光器光刻
深紫外光刻技术的发展
冯伯儒姚汉民
关键词：X射线光刻集成电路器件
微光刻技术的发展被引量：29
2000年
阐述了光刻技术的发展及其分辨极限 ,对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述。
冯伯儒张锦侯德胜陈芬
关键词：微光刻技术准分子激光光刻集成电路
微细图形光刻计算机模拟软件
1998年
本文介绍了新近开发成功的ＢＥＨＡＶＥ软件。该软件具有良好的交互式界面，全面高效的计算模拟功能，是研究探讨微细图形光刻中的驻波效应以及整个微细图形光刻工艺计算模拟的强有力工具。
范建兴冯伯儒张锦陈芬崔铮
关键词：计算机模拟光刻技术
一种新型光刻系统的研究被引量：1
2001年
介绍了一种新型的光刻系统－全内反射全息光刻系统。着重讨论了设计该系统时的几个重要因素，给出了用该系统开展的实验研究结果。
陈芬刘立军彭宗举冯伯儒张锦
关键词：全息光刻光刻系统
无铬相移掩模光刻技术被引量：5
1996年
本文论述了相移掩模(PSM)提高光刻分辨率的基本原理、主要类型、无铬 PSM 的制作方法,简述了曝光实验和实验结果.用 NA=0.28的 g 线光刻机得到了0.5μm的实际分辨率.
冯伯儒陈宝钦
关键词：无铬光刻技术大规模集成电路
投影光刻技术的计算机模拟研究被引量：5
1996年
投影光刻技术的计算机模拟分为三部分：空间像强度分布计算，曝光计算和显影计算。本文分别讨论了各部分数学模型的建立，计算方法及特点，并给出了一些研究结果。
范建兴冯伯儒张锦周崇喜
关键词：投影光刻计算机模拟光刻技术
用银盐干板的多重图像全息存贮被引量：1
1987年
本文叙述用银盐全息干板记录多重全息光栅和图像的方法、实验系统和装置,给出了实验结果,并与硫砷玻璃多重图像存贮作了比较。
侯德胜冯伯儒
关键词：全息干板全息存贮银盐全息光栅
双反射面形成光驻波场的研究被引量：1
2001年
分析了镜面的反射系数与光驻波场的关系 ,详细讨论了影响双反射面形成的驻波场的各种因素 ,并对TE波和TM波驻波场的光强分布进行了模拟和比较 ,最后得到了一些对实验有指导意义的结论。
陈献忠陈元培姚汉民冯伯儒李展
关键词：反射系数计算机模拟反射面
一种采用光栅组合的成像干涉光刻方法及其光刻系统
一种采用光栅组合的成像干涉光刻方法及其光刻系统，其特征是使用由一个水平光栅和一个垂直光栅组成的光栅组合和转动光阑相配合，为成像干涉光刻系统中的掩模提供Y方向倾斜照明和X方向倾斜照明，使传统成像干涉光刻在三次曝光之间需调整...
张锦冯伯儒刘娟
文献传递
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