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宗德蓉

作品数:37 被引量:66H指数:5
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点实验室开放基金四川省应用基础研究计划项目更多>>
相关领域:电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 20篇期刊文章
  • 12篇专利
  • 4篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 21篇电子电信
  • 3篇理学
  • 2篇机械工程
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 19篇声光
  • 12篇激光
  • 12篇光刻
  • 10篇声光调制
  • 10篇声光调制器
  • 10篇光调制
  • 10篇光调制器
  • 7篇掩模
  • 6篇光刻系统
  • 6篇干涉光刻
  • 5篇换能器
  • 4篇声光器件
  • 4篇偏转
  • 4篇滤波器
  • 4篇光器件
  • 4篇超声波
  • 4篇超声波频率
  • 4篇超声功率
  • 4篇超声频率
  • 3篇衍射

机构

  • 37篇中国科学院
  • 2篇四川大学
  • 2篇中国科学院微...
  • 1篇四川师范学院
  • 1篇邮电部

作者

  • 37篇宗德蓉
  • 16篇张锦
  • 16篇冯伯儒
  • 13篇罗斌
  • 7篇蒋世磊
  • 6篇刘娟
  • 4篇孙祖红
  • 4篇张远华
  • 4篇宫杰
  • 4篇苏平
  • 4篇黎俊杰
  • 2篇陈宝钦
  • 2篇邓明
  • 2篇罗德卉
  • 2篇林明毓
  • 2篇姜军
  • 1篇罗斌
  • 1篇姜军
  • 1篇姜军
  • 1篇杜惊雷

传媒

  • 16篇光电工程
  • 2篇全国光电技术...
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇应用激光
  • 1篇光学仪器
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇2002年全...
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 4篇2009
  • 1篇2007
  • 4篇2006
  • 3篇2005
  • 2篇2004
  • 2篇2003
  • 3篇2002
  • 7篇2001
  • 2篇2000
  • 2篇1999
  • 1篇1998
  • 2篇1996
  • 1篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1993
  • 1篇1991
37 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
1.06μm激光标记机声光Q开关
1996年
本文描述了声光 Q开关的工作原理 ,其工作于 1 .0 6 μm、4 0 MHz超声频率 ,并采用 36°y切铌酸锂换能器。在喇曼和布喇格区域 (过渡区域 )设计、制作并测试和评价了激光标记机声光
宗德蓉宫杰林明毓
关键词:声光开关Q开关Q调制
高分辨全息光栅制作技术
本文介绍一种用于产生高分辨全息光栅的新方法——液浸式干涉光刻技术的基本原理、实验系统、设计方法和可能的应用.
冯伯儒张锦四川大学物理系(成都)侯德胜宗德蓉蒋世磊
关键词:光刻全息光栅干涉光刻
文献传递
宽带声光可调滤光器的设计——一种新型的换能器结构
1996年
在设计声增强型声光可调滤光器中 ,首次采用频带分段思想 ,提出梯形倾斜结构的换能器 ,获得了 50
罗德卉黎俊杰宗德蓉
关键词:声光滤波器可调谐滤波器换能器
新型双向多功能声光器被引量:4
1999年
介绍一种双向多功能声光调制器的设计原理、制作工艺及实验结果。两个方向均采用 y- 3 6°切割 L i Nb O3 单晶为换能器 ,双向声光器件的性能为 :X方向的工作频率为 4 0± 0 .1 MHz,调制信号为 1 - 1 0 k Hz;Y方向的工作频率为 1 0 0± 0 .1 MHz,在激光测试装置中测得双向声光器件在驱动功率为 8W时 X,Y方向的衍射效率分别>80 %。
宗德蓉罗斌姜军宫杰
关键词:声光调制器衍射效率
一种新型远红外声光调制器被引量:1
2005年
介绍一种新型远红外声光调制器,采用高品质因子Ge单晶(III)方向传声作为声光介质,铌酸锂晶体作为压电换能器,工作中心频率为80MHz;还介绍了两种散热结构,经测试比较,环绕散热结构比背面散热结构的衍射效率提高10%,而且光斑质量也明显变好,较大地提高了远红外声光调制器的性能,利用10W高频驱动功率,测得锗声光器件的峰值衍射效率为65%。它的成功为声光调制器在激光雷达、远距离目标跟踪等方面的远红外技术应用,具有实际意义。
宗德蓉孙祖红邓明张远华
关键词:压电换能器品质因子远红外技术
一种干涉光刻多光束形成系统
一种干涉光刻多光束形成系统,属于对微细图形干涉光刻系统的改进。其特征是激光器发出的光经扩束、空间滤波和准直之后照射到一个梯形棱镜上,经该棱镜折射形成五束在一定距离处相迭加的平行光,这些光束由区域性选择开启的快门控制,在涂...
冯伯儒张锦蒋世磊宗德蓉苏平
文献传递
新型激光腔内声光倒空器的研制
2001年
文中描述了新型声光腔内倒空器的工作原理并介绍了工作波长为 1 0 6 μm ,超声频率为80MHz的Y36°切铌酸锂换能器 ,内调制频率在 1~ 30kHz内可调 ,通光孔径为 5mm的布拉格型熔石英介质声光倒空器的设计。制作、测试和评价了激光腔内声光倒空器。当高频驱动源功率 >2 0W时 ,衍射效率 >50 %。
宗德蓉罗斌姜军
关键词:激光腔
双光束法测速度时测量角产生的影响被引量:1
1993年
本文讲述了利用双光束法进行无接触流速的测量。并着重讨论和分析了不同测量角所带来的不同影响,以及最佳测量角的选定。
宗德蓉黎俊杰
关键词:激光双光束干涉入射角
声光可调滤光器及其在光谱分析方面的应用被引量:12
1998年
描述了作为色散元件的声光可调滤光器(AOTF)的结构及滤光器的驱动频率fa和衍射光波长λ0的调谐特性。着重对不同物质的吸收光谱进行了测试,测试结果表明,不同物质有其不同的吸收光谱,而吸收光谱可反映物质内部的许多信息。
宗德蓉罗斌黎俊杰
关键词:声光滤波器光谱分析
用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模技术被引量:1
2004年
用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模(PSM)技术主要有无铬相移掩模(CPM),交替相移掩模(APSM)、衰减相移掩模(AttPSM)和混合相移掩模技术。对这些掩模的基本原理、制作方法及性能比较进行了分析研究。研究表明,无铬相位光刻(CPL)PSM和高透AttPSM 相结合构成的混合掩模最适合用于193nmArF光刻,以产生100nm节点抗蚀剂图形。
冯伯儒张锦宗德蓉刘娟陈宝钦刘明
关键词:相移掩模衰减相移掩模
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