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姜建东

作品数：3 被引量：12H指数：1
供职机构：复旦大学更多>>
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合作作者

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共 3 条 记 录，以下是 1-3
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙承龙
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：传感器 温度传感器 硅 RIE 反应离子深刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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