戈肖鸿
- 作品数：35 被引量：50H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器
- 本文提出了一种新型的微梁直拉直压微机械压阻式加速度传感器.理论模型和有限元模拟分析了一种特殊的三梁结构,此结构能极大的提高传感器的灵敏度,同时具有较高的自由振动频率.基于该传感器的设计规则,设计了各种量程的传感器.给出了...
- 黄树森李昕欣戈肖鸿解健芳陈士清王跃林
- 关键词：压阻加速度传感器有限元模拟
- 文献传递
- 微米尺度温差测试结构的研究被引量：1
- 2012年
- 微米尺度热学性能测试需要在微米尺度内产生稳定的温度场并准确测量温差,对此设计并制作了一种微米尺度温差测试结构。当在测试结构的加热电极施加0.1,0.2,0.3,0.4,0.5V的电压时,测得实验室制作的硅纳米线两端温差分别为7,23,47,78,109 K,与ANSYS仿真结果大致吻合;此外,利用该测试结构测得硅纳米线塞贝克系数为4.24×10-4V/K,与文献中硅材料一致。测试结果表明:该结构能够提供稳定的温度场并精确测量温差,满足微米尺度温差测试的基本要求。
- 霍建琴冯飞王文荣戈肖鸿李铁王跃林
- 关键词：温差
- 一种高深宽比硅结构的侧壁平滑方法
- 本发明提供一种高深宽比硅结构的侧壁平滑方法，先在硅衬底表面形成氧化硅掩膜，然后根据氧化硅掩膜于硅衬底中制作高深宽比硅结构，接着采用感应耦合等离子体增强化学气相沉积法或喷涂法于所述高深宽比硅结构侧壁形成含氟聚合物，最后去除...
- 李铁高安然俞正寅戈肖鸿王跃林
- 文献传递
- 微型热导检测器温控模块研究被引量：3
- 2017年
- 作为微型气相色谱仪(Micro GC)的关键部件的微型热导检测器(Micro TCD),其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素。从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到了温度波动对系统噪声的影响,并详述了Micro TCD加热模块的电路部分和算法部分。测试表明:Micro TCD的温度波动约为0.09℃,达到了商用GC控温精度的标准。
- 游文斌冯飞俞正寅戈肖鸿刘明李昕欣
- 关键词：微型气相色谱仪热导检测器噪声PID算法
- 基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及制作方法
- 本发明涉及一种基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及其制作方法。其特征在于所述的静电驱动器的中央可动平台通过四根直梁连接到内部支撑框架上，内部支撑框架通过四根折叠梁连接到四个固定锚点上。依靠水平驱动梳齿与垂直驱动梳齿分...
- 车录锋陈琳李伟宋朝辉戈肖鸿
- 一种高深宽比硅结构的侧壁平滑方法
- 本发明提供一种高深宽比硅结构的侧壁平滑方法，先在硅衬底表面形成氧化硅掩膜，然后根据氧化硅掩膜于硅衬底中制作高深宽比硅结构，接着采用感应耦合等离子体增强化学气相沉积法或喷涂法于所述高深宽比硅结构侧壁形成含氟聚合物，最后去除...
- 李铁高安然俞正寅戈肖鸿王跃林
- 文献传递
- 一种气体传感器的制造方法以及由此制造的气体传感器
- 本发明涉及一种气体传感器的制造方法，包括：在硅衬底上产生硅突出平台；淀积第一金属薄膜层，在第一金属薄膜层上得到矩形的金属反射层图形；淀积第二金属薄膜层，在第二金属薄膜层上得到加热电阻图形；淀积第三金属薄膜层，在第三金属薄...
- 张进戈肖鸿俞正寅庞俊戴华张培军
- 文献传递
- 基于激光结合各向异性腐蚀的梁-质量块结构的制备方法
- 本发明提供一种基于激光结合各向异性腐蚀的梁‑质量块结构的制备方法，包括以下步骤：1）提供（111）硅片；2）采用激光加工工艺在所述（111）硅片背面形成第一深槽；3）在所述（111）硅片正面形成第二深槽；4）在所述（11...
- 杨恒戈肖鸿吴燕红豆传国王小飞孙珂李昕欣
- 文献传递
- 硅－金属双层结构薄膜热电堆
- 本发明涉及一种硅－金属双层结构薄膜热电堆。主要由硅片衬底、衬底一面上的J形或L形多晶硅或金属薄膜条、隔离绝缘层、隔离层上面的L形或J形金属或多晶硅薄膜条、测量结点和串连参考结点、输出端和衬底另一面的空穴腔构成。本发明采用...
- 沈德新卢建国张保安戈肖鸿杨艺榕董荣康
- 文献传递
- 一种用于硅基MEMS电容式传感器的防静电结构
- 本发明提供一种用于硅基MEMS电容式传感器的防静电结构，该传感器具有固定的第一敏感电极和可动的第二敏感电极，其中，所述防静电结构包括分别连接在所述第一敏感电极与一地电极之间、所述地电极与一输出电极之间、所述输出电极与所述...
- 豆传国杨恒孙珂戈肖鸿吴燕红李昕欣
- 文献传递
