王渭源
- 作品数：73 被引量：154H指数：6
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家攀登计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- SF6/CCl2F2中加O2反应离子深刻蚀Si
- 采用SF/CClF/O气体,在平板型反应离子刻蚀仪上,进行了硅的反应深刻蚀研究。用Cr作掩膜,获得了各向异性刻蚀结果,硅台阶高度T=10μm,台阶倾斜角小于5°,横向腐蚀约0.5μm,刻蚀表面粗糙度约10%。用这种工艺,...
- 姜建东孙承龙王渭源陈芬扣叶树萍王德宁
- 文献传递
- 微机械加工中的RIE技术被引量：2
- 1992年
- 简述了反应离子刻蚀(RIE)技术在微型传感器部件加工制造中的应用,报道了采用NF_3、SF_6等气体反应离子刻蚀Si的实验结果,研制出了φ300μm的微型Si齿轮。
- 孙承龙王德宁王渭源
- 关键词：离子刻蚀传感器
- 绝压式BESOI负压传感器研制
- 1995年
- 采取BESOI技术形成带真空腔的绝压式结构,利用凸型梁使形变膜的应力放大,研制出在电源电压5V时,具有输出灵敏度为257.4mV/10~5Pa的绝压式负压传感器芯片.其非线性度约0.1%,未加负压时,输出电压的温漂约400×10^(-6)/℃(FS).
- 李金华孙慷蒋美萍周倜冒建军焦继传陆德仁王渭源
- 关键词：键合传感器
- 金属镍微型静电马达的初步研制被引量：3
- 1995年
- 设计了一种材料为金属镍的摆动式(WObble)微型静电马达,马达转子直径140μm,厚度8μm,外观总体尺寸1 mm×1 mm.此马达首先是在硅衬底上利用准LIGA技术电镀形成,然后利用RIE释放.文中给出了微型摆动式静电马达的设计思想和制作工艺,并对工艺及马达驱动中出现的一些问题进行讨论.
- 王添平王效东解健芳谭淞生王渭源
- 关键词：静电马达反应离子刻蚀镍
- 微齿轮加工工艺研究被引量：1
- 1993年
- 微机械加工技术是在IC平面工艺结合牺牲层腐蚀工艺基础上发展和形成的.在八十年代中应用了这种准三维加工技术,出现了尺寸在几十到几百微米的微型传感器.从而,传感器的性能和成品率得到提高,而成本下降.同时,为微电子机械集成奠定了一定的基础.尤其是1988年美国加里弗尼亚大学采用这种工艺成功地制成了直径仅为头发丝粗细的硅静电马达,从此得到了世界各国科学家的高度重视和大力发展.
- 赵新安苏毅张熙谭淞生王渭源
- 关键词：微齿轮微机械加工齿轮
- As^+、Si^+双注入GaAs瞬态退火的行为被引量：2
- 1989年
- 研究了不同能量、剂量As^+、Si^+双注入于SI GaAs中,As^+注入对注Ss^+有源层的影响.首次给出了双注入样品瞬态退火后有源层的激活率和载流子迁移率,退火前后材料的沟道谱.实验表明,As^+、Si^+双注入样品比Si^+单注入样品在较低退火温度下就能激活Si^+,在适当高温下能得到性能良好的有源层.
- 范伟栋王渭源
- 关键词：砷离子双注入
- i-GaAlAs/GaAs异质结绝缘栅场效应晶体管的静态特性研究
- 1991年
- 本文在改进型电荷控制模型基础上,引进GSW速度场方程,推导出异质结绝缘栅场效应晶体管(HIGFETs)的I_D-V_D-V_G,I_(DS)-V_G,G_m,和C_G等一系列静态特性方程。计算结果与文献实测值进行了比较,在V_G<2V,I_D
- 王德宁顾聪王渭源
- 关键词：异质结场效应晶体管绝缘
- 集成微光机电系统研究现况及其产业化前景被引量：10
- 2000年
- 本文介绍了国际集成微光机电系统的研究现况及其产业化前景 ;在此基础上 。
- 王跃林王渭源
- 关键词：微电子机械系统微系统信息系统
- 采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析被引量：2
- 1997年
- 本文首次采用了Rayleigh－Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性．研究了平面内应力（in－planestress）和弯曲应力（flexuralstress）对固有频率的影响．模拟计算和实验结果符合得较好．此外还讨论了定于有关参数对固有频率的影响．
- 张健沈德新王渭源
- 关键词：半导体固有频率
- 压电微马达研制被引量：1
- 1998年
- 本文采用微机械加工研制压电微马达，用硅平面工艺首次制作了硅转子并装配成直径Φ１．８ｍｍ压电微马达，得到转速为３０～５０ｒ／ｍｉｎ。同时对转子重量、形状、激励频率与转速关系进行研究。
- 卢建国沈德新张健张保安王渭源
- 关键词：压电电机微马达微机械微电机
