2024年12月19日
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李兴凯
作品数:
2
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H指数:1
供职机构:
西安微电子技术研究所
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
单光宝
西安微电子技术研究所
刘佑宝
西安微电子技术研究所
陈福山
西安微电子技术研究所
王永录
西安微电子技术研究所
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单光宝
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS TSV 硅微加速度计 MEMS器件 掩膜
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刘佑宝
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:砷化镓 MESFET SOI 模型参数 PD_SOI
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陈福山
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:CR SIO 薄膜电阻器 溅射法制备 MEMS器件
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王永录
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS 掩膜 封装 硅微加速度计 武器
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