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李翔
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9
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供职机构:
中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
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合作作者
单光宝
中国航天科技集团公司第九研究院...
孙有民
中国航天科技集团公司第九研究院...
刘松
中国航天科技集团公司第九研究院...
贺欣
中国航天科技集团公司第九研究院...
杜欣荣
中国航天科技集团公司第九研究院...
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孙有民
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
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单光宝
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
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刘松
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
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贺欣
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV SOI衬底 绝缘层 晶圆 盲孔
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杜欣荣
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV SOI衬底 刻蚀 晶圆 盲孔
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付鹏
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
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