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机构

  • 6个中国航天科技...

地区

  • 6个陕西省
6 条 记 录,以下是 1-6
孙有民
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
单光宝
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘松
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺欣
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV SOI衬底 绝缘层 晶圆 盲孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜欣荣
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV SOI衬底 刻蚀 晶圆 盲孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付鹏
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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