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徐波

作品数：3 被引量：24H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
发文基金：中国电子科技集团公司创新基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 外延层 金属 刻蚀
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