2024年12月5日
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郭婷婷
作品数:
5
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
胡媛
中国科学院微电子研究所纳米加工...
王琴
中国科学院微电子研究所纳米加工...
龙世兵
中国科学院微电子研究所纳米加工...
杨仕谦
中国科学院微电子研究所纳米加工...
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
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3
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
安徽大学电子信息工程学院
研究主题:矩量法 雷达散射截面 小波变换 仿真 电磁散射
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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相关人物
相关机构
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