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陈辰

作品数：28 被引量：5H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
发文基金：国家部委预研基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 金属 外延层 刻蚀
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