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刘英坤

作品数：56 被引量：120H指数：6
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文基金：邯郸市科学技术研究与发展计划项目国家部委资助项目更多>>
相关领域：电子电信电气工程一般工业技术经济管理更多>>

合作作者

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中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：芯片 半导体器件 衬底 校准 GAN
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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