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陈佩文

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 6篇加速度
  • 6篇加速度计
  • 5篇加速度测量
  • 4篇微机械
  • 3篇微光机电系统
  • 3篇微机械结构
  • 3篇微加工
  • 3篇微加工工艺
  • 3篇微位移测量
  • 3篇流片
  • 3篇机械结构
  • 3篇光机
  • 3篇光机电
  • 3篇高反膜
  • 2篇硅器件
  • 2篇封装
  • 2篇封装外壳
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇硅基

机构

  • 6篇浙江大学

作者

  • 6篇白剑
  • 6篇汪凯巍
  • 6篇卢乾波
  • 6篇焦旭芬
  • 6篇韩丹丹
  • 6篇陈佩文

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本实用新型公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
文献传递
超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底，微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
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抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本发明公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次为光...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本发明公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次为光...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
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超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底，微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
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一种超高加速度位移灵敏度的微机械敏感结构与加速度计
本实用新型公开了一种超高加速度位移灵敏度的微机械敏感结构与加速度计。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底，微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
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