焦旭芬
- 作品数：14 被引量：0H指数：0
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：文化科学机械工程理学电子电信更多>>
- 一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构
- 本实用新型公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构，所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块，四个对称分布的蟹脚型悬臂梁，连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜；敏感质量块的重心...
- 卢乾波白剑娄树旗焦旭芬韩丹丹
- 文献传递
- 光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法
- 本发明公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换A...
- 卢乾波娄树旗焦旭芬白剑
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- 一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
- 本实用新型公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次...
- 卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
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- 高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法
- 本发明公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法，所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块，四个对称分布的蟹脚型悬臂梁，连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜；敏感质量...
- 卢乾波白剑娄树旗焦旭芬韩丹丹
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- 一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统
- 本实用新型公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换AD转...
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- 基于相位调制-解调技术的MOEMS加速度计信号处理系统设计
- MEMS加速度传感系统因其体积小、精度高，被广泛用于各个领域。尤其在惯性导航与制导系统中，MEMS加速度计扮演着重要的角色。MOEMS加速度计结合MEMS技术的优点，具有更强的抗电磁干扰能力以及更高的精度。但是，MOEM...
- 焦旭芬
- 关键词：信号处理系统相位调制
- 超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
- 本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底，微机械敏感结构下部与带凹...
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- 抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
- 本发明公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次为光...
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- 高精度微位移测量抗光源扰动性分析
- 2015年
- 基于光栅干涉原理的高精度微位移测量装置电压灵敏度高,微弱的抖动都会影响测量精度,这些抖动包括空气波动,地面震动,光源波动等,因而如何有效抑制外界抖动对微位移测量结果的影响显得至关重要。本文首先针对实验所用光源线偏振He-Ne激光器的功率波动性进行实验和分析,得出光源的功率波动范围大于7%,超出1%的波动限制;然后采用两路信号采集的补偿措施,后经比例运算降低光源波动对输出电压的影响,实现抗光源扰动的目的。通过对实验数据的分析得出经过补偿光路和比例运算以后输出电压受光源波动的影响得到了有效抑制,最终输出电压的波动幅度较初始状态降低了60%,位移测量误差从1.95×10-7 m降低到1.40×10-8 m。
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- 关键词：激光器
- 光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法
- 本发明公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换A...
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