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韩丹丹

作品数:10 被引量:0H指数:0
供职机构:浙江大学更多>>
相关领域:文化科学机械工程更多>>

文献类型

  • 9篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇文化科学
  • 1篇机械工程

主题

  • 9篇加速度
  • 9篇加速度计
  • 7篇微机械
  • 7篇加速度测量
  • 6篇微加工
  • 6篇微加工工艺
  • 3篇单轴
  • 3篇微光机电系统
  • 3篇微机械结构
  • 3篇微加速度计
  • 3篇微位移测量
  • 3篇流片
  • 3篇机械结构
  • 3篇光机
  • 3篇光机电
  • 3篇封装
  • 3篇高反膜
  • 2篇离轴
  • 2篇硅基
  • 2篇硅器件

机构

  • 10篇浙江大学

作者

  • 10篇韩丹丹
  • 9篇白剑
  • 9篇卢乾波
  • 9篇焦旭芬
  • 6篇汪凯巍
  • 6篇陈佩文

年份

  • 1篇2023
  • 3篇2018
  • 2篇2017
  • 4篇2016
10 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本发明公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成,微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方;微机械加速度敏感单元从上到下依次为光...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
文献传递
超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底,微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
文献传递
一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本实用新型公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成,微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方;微机械加速度敏感单元从上到下依次...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
文献传递
高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法
本发明公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法,所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块,四个对称分布的蟹脚型悬臂梁,连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜;敏感质量...
卢乾波白剑娄树旗焦旭芬韩丹丹
文献传递
超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底,微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
文献传递
抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本发明公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成,微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方;微机械加速度敏感单元从上到下依次为光...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
高精度微光学加速度计的温度特性研究
微机械(Micro-electro-mechanical Systems,MEMS)加速度计有体积小、能耗低、便于集成等优点,被广泛用于医疗、惯导、地震监测、汽车安全等领域。传统的MEMS加速度计易受到电磁干扰,并且灵敏...
韩丹丹
关键词:温度性能封装结构热应力
高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法
本发明公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法,所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块,四个对称分布的蟹脚型悬臂梁,连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜;敏感质量...
卢乾波白剑娄树旗焦旭芬韩丹丹
一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构
本实用新型公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构,所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块,四个对称分布的蟹脚型悬臂梁,连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜;敏感质量块的重心...
卢乾波白剑娄树旗焦旭芬韩丹丹
文献传递
一种超高加速度位移灵敏度的微机械敏感结构与加速度计
本实用新型公开了一种超高加速度位移灵敏度的微机械敏感结构与加速度计。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底,微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
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共1页<1>
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