顾小玉
- 作品数:8 被引量:6H指数:1
- 供职机构:江苏科技大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金江苏省“青蓝工程”基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程化学工程更多>>
- 一种无接触输运与定位平台装置的控制方法
- 本发明公开了一种无接触输运与定位平台装置及控制方法,该装置包括运输平台、位于运输平台下方的固定平台和位于固定平台下方的基座,所述固定平台通过固定平台支撑与基座连接,所述运输平台上设有若干个凹槽,每个凹槽设有进气孔和出气孔...
- 钟伟徐柯顾小玉
- 文献传递
- 一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置及检测方法
- 本发明公开了一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置,包括运输平台、固定平台和基座,固定平台通过支撑柱与基座连接,运输平台的两侧设有驱动玻璃基板运动的驱动装置,运输平台上设有若干个均匀排列的输送气孔,在输送气孔的顶端嵌入有...
- 钟伟顾小玉
- 文献传递
- 气悬浮技术在无接触输运领域的研究进展被引量:3
- 2018年
- 在半导体、食品和医药等行业的生产制造过程中需要输运清洁和易损的产品。传统的接触式输运方式容易造成产品表面出现刮痕、裂纹,同时还存在静电和金属污染等诸多问题,已无法适应技术发展的需求。无摩擦非接触的方式在满足精度、洁净度和可靠性等要求方面具有极大优势。综述了国内外无接触悬浮技术的研究现状,概括对比了不同技术的特点、应用对象和场合、环境限制及复杂性。气悬浮具有清洁无污染、不发热、不生磁且构建简单等优势,是当前无接触输运领域的主流技术。气悬浮从实现方式上可分为负压吸浮和正压悬浮,着重阐述了两种方式的实现原理、研究现状及应用进展。在此基础上,深入分析了完全无接触气浮输运的实现方式、研究现状及存在的问题,并进一步指出无接触气浮输运技术的发展趋势,以期推动我国在相关领域的产业升级。
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- 关键词:无接触气膜输运
- 一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置及检测方法
- 本发明公开了一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置,包括运输平台、固定平台和基座,固定平台通过支撑柱与基座连接,运输平台的两侧设有驱动玻璃基板运动的驱动装置,运输平台上设有若干个均匀排列的输送气孔,在输送气孔的顶端嵌入有...
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- 基于气流黏性牵引原理的无接触输运建模仿真与试验研究被引量:1
- 2017年
- 目前众多行业需要使用无接触的方式输运清洁、易损的产品。介绍了一种完全无接触的气浮输运平台,通过在物体下方产生气膜及可控气流实现牵引输送。建立了间隙内气流简化模型并针对黏性力进行了理论和实验研究,结果表明,气流在平台表面凹槽区和边缘区域内提供牵引力,且在一定流量条件下黏性力随气膜高度增加而降低。提出了一种基于有效驱动单元列数作为被控量的控制方法,设计PID控制器并对物体在一维方向上的输运与定位进行研究,结果验证了理论模型和控制方法的有效性。
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- 关键词:气膜
- 基于气膜压力反馈的玻璃基板形变预测方法研究
- 近年来,随着液晶面板中的玻璃基板往大型化与薄型化发展,在输运过程中为防止玻璃基板表面刮伤、静电污染、应力集中等问题,局部多孔质气浮输运成为一种无接触输运的方式。另外,在生产线上会利用高速CCD相机检测TFT阵列的品质,而...
- 顾小玉
- 关键词:玻璃基板有限元分析
- 文献传递
- 一种无接触输运与定位平台装置及控制方法
- 本发明公开了一种无接触输运与定位平台装置及控制方法,该装置包括运输平台、位于运输平台下方的固定平台和位于固定平台下方的基座,所述固定平台通过固定平台支撑与基座连接,所述运输平台上设有若干个凹槽,每个凹槽设有进气孔和出气孔...
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- 文献传递
- 基于压力反馈的玻璃基板形变预测研究被引量:1
- 2019年
- 在输运过程中大型玻璃基板如发生较大变形,将会降低薄膜晶体管(TFT)阵列缺陷的检测精度。使用激光位移传感器进行大范围形变检测时效率较低,据此提出一种基于气膜压力反馈的玻璃基板形变间接检测方法。建立了包含多孔质流量特性和间隙流特性的气膜压力模型,在假设玻璃基板形变为二次曲线的前提下,基于模型分别利用单点压力和多点压力反馈的方法进行形变预测。搭建了玻璃基板形变测量装置,对形变计算结果与测量结果进行了对比分析。结果表明,多点压力反馈的方法能够更准确地预测玻璃基板的形变。
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- 关键词:气膜玻璃基板形变