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王斌

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程兵器科学与技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电气工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学
  • 1篇兵器科学与技...

主题

  • 5篇微加速度计
  • 5篇加速度
  • 5篇加速度计
  • 3篇极板
  • 2篇低应力
  • 2篇全硅
  • 2篇外部环境
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇温度稳定性
  • 2篇斜梁
  • 2篇极区
  • 2篇摆式
  • 1篇导通
  • 1篇电机
  • 1篇电容
  • 1篇定子
  • 1篇定子线圈
  • 1篇旋转电机

机构

  • 9篇中国工程物理...
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 9篇王斌
  • 5篇谢国芬
  • 5篇杨杰
  • 4篇刘显学
  • 3篇张照云
  • 3篇陈俊
  • 2篇熊壮
  • 2篇唐彬
  • 2篇许蔚
  • 1篇张莉
  • 1篇王旭光
  • 1篇贺佳
  • 1篇罗斌强
  • 1篇沈朝阳
  • 1篇赵宝林
  • 1篇屈明山
  • 1篇庞树财
  • 1篇彭波

传媒

  • 1篇火工品

年份

  • 2篇2024
  • 2篇2023
  • 1篇2022
  • 3篇2017
  • 1篇2015
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种双差分的全硅结构的微加速度计
本实用新型公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本实用新型首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k...
许蔚杨杰谢国芬王斌刘显学唐彬
文献传递
一种双差分的全硅结构的微加速度计及其制造方法
本发明公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本发明首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k(ΔCa...
许蔚杨杰谢国芬王斌刘显学唐彬
文献传递
一种低应力摆式微加速度计
本发明涉及微电子机械系统技术领域，提供一种低应力摆式微加速度计，包括依次布置的上极板、中间极板和下极板。上极板和下极板均包括第一键合边框、电极区和第一应力主隔离梁，第一键合边框的内侧形成第一容置空间，电极区和第一应力主隔...
刘显学谢国芬张照云杨杰王斌陈俊
一种扁平状旋转电机
本发明公开了一种扁平旋转电机，所述电机包括转子、定子和铁芯三部分，整个电机呈扁平形状；其中，转子由转子基板和转子永磁两部分组成；定子由定子基板和定子线圈两部分组成，定子线圈包括外环线圈和内环线圈两部分；铁芯位于定子线圈正...
屈明山熊壮王月支钞李严军王颉王斌张青芝
平面放电开关的导通特性研究
2015年
基于分段连续仿真的方法,以计算得到的电爆炸时金属气体压力作为输入,将桥区的电爆炸等效成压缩气体对外膨胀做功,对一种微机电技术制造的由聚酰亚胺覆盖的平面高压开关的导通过程进行了仿真研究。仿真结果表明:高压电极出现电流的滞后时间是由触发极桥区电爆炸过程决定的,高压电极是由电爆炸金属气体膨胀直接连通的。最后制造了开关样品,测试得到的电路波形与仿真符合地很好。
庞树财贺佳罗斌强王斌
关键词：高压开关仿真
一种低应力摆式微加速度计
本发明涉及微电子机械系统技术领域，提供一种低应力摆式微加速度计，包括依次布置的上极板、中间极板和下极板。上极板和下极板均包括第一键合边框、电极区和第一应力主隔离梁，第一键合边框的内侧形成第一容置空间，电极区和第一应力主隔...
刘显学谢国芬张照云杨杰王斌陈俊
一种高灵敏的声学图像传感器及其制备方法
本发明公开了一种高灵敏的声学图像传感器及其制备方法，应用于声学传感技术领域，该声学图像传感器包括：亥姆霍兹型微腔超表面结构、设置于亥姆霍兹型微腔超表面结构下方的微机械超声换能器阵列以及设置于微机械超声换能器阵列下方的集成...
彭波杨凯王斌刘涛谭星
一种石英微加速度计
本申请提供一种石英微加速度计，包括两个边极板和中间极板，边极板上设置有边部键合区、电容区和边部电气隔离区以及电容引线密封区；中间极板设置于两个边极板之间；中间极板上设置有中间键合区、质量块、挠性梁、中间电极引线区、边部电...
张照云谢国芬赵宝林陈俊黄健树王斌沈朝阳熊壮杨杰谢晋王颉屈名山刘振华王旭光
椭偏仪的自校准和测量不确定度分析
为保证微机电系统(MEMS)工艺制作过程中薄膜厚度测量的准确、可靠,依据《GJB/J5463-2005光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程》、《GJB1317A-2006军用检定规程和校准规程编写通用要求》等技术文件编制"...
张莉王斌
关键词：椭偏仪薄膜厚度测量不确定度
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