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秦艳红
作品数:
2
被引量:7
H指数:2
供职机构:
华北光电技术研究所
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发文基金:
国防基础科研计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王春红
华北光电技术研究所
李春领
华北光电技术研究所
侯晓敏
华北光电技术研究所
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2篇
中文期刊文章
领域
2篇
电子电信
主题
2篇
碲镉汞
1篇
平面度
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平坦化
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碲镉汞材料
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化合物半导体
1篇
化合物半导体...
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焦平面
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红外
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红外焦平面
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半导体
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半导体材料
机构
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华北光电技术...
1篇
中国人民解放...
作者
2篇
秦艳红
2篇
李春领
2篇
王春红
1篇
侯晓敏
传媒
2篇
激光与红外
年份
1篇
2017
1篇
2012
共
2
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碲镉汞材料双面平坦化工艺研究
被引量:2
2017年
通过对30mm×25mm尺寸的碲镉汞材料和器件进行双面平坦化工艺,使其平面度达到与Si读出电路互连要小于2μm的要求,提高了MW1280×1024焦平面器件互连成品率。
李春领
王春红
秦艳红
关键词:
碲镉汞
平面度
化合物半导体材料碲镉汞表面平坦化方法研究
被引量:6
2012年
研究了一种去除碲镉汞液相外延(LPE)薄膜材料表面波纹的方法。器件结果显示,利用该方法可以有效去除碲镉汞薄膜材料表面的波纹,获得较好的平坦化表面,提高了大面积红外焦平面器件芯片工艺和互连效果。
李春领
何铁生
侯晓敏
秦艳红
王春红
关键词:
碲镉汞
红外焦平面
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