刘剑
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
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- 紫外光电探测器研制
- 2013年
- 采用宽带隙半导体材料SiC,进行紫外光电探测器的制备。基于机械性能和化学稳定性考虑,增透抗反膜的制备采用SiO2+Al2O3工艺,同时对其表面钝化层和增透抗反膜工艺进行了研究讨论。
- 吴会利刘剑申猛
- 关键词：碳化硅光电探测器宽带隙抗反射
- 模拟软件在基区方阻实验中的应用
- 2014年
- 随着IC工艺和器件物理研究的进展以及计算机技术的发展成熟,集成电路模拟软件的功能和应用也同步扩展。目前国内大型生产线上几乎均采用了同类软件,主要用于工艺建模、优化工艺流程,一旦模拟与实验拟合较好,建立模型库,将极大的节省实验所需时间、人力和物料。主要采用的是Sentaurus TCAD软件模拟了TTL工艺的基区注入后扩散情况,模拟结果与实验结果非常接近,该结果已经多次应用在产品的研制生产中。
- 宋玲玲刘剑李浩
- 关键词：结深方阻
- CV测试中的一种异常现象及解决方法
- 2013年
- 针对半导体CV测试中出现的一种曲线异常现象进行分析,找出问题所在,最终得出解决的办法。并提出一些有利于改进CV测试效果的建议。
- 刘剑吴会利
- 乳胶源硼扩散的SENTAURUS模拟
- 2014年
- 利用半导体TCAD工具Sentaurus对硅片的乳胶源掺硼扩散工艺进行模拟,用淀积后的退火处理过程替代注入后退火的模拟方案,以多种实测条件为标准,用两种条件进行模拟,并结合实测数据,对模型结果进行比较,找到模拟的最终可行方案,弥补Sentaurus软件功能模块上的不足。
- 刘剑宋玲玲
