马季
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：上海大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：上海市科委科研计划项目上海市教育发展基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- LP同质过渡层对ZnO薄膜结构性能的影响被引量：1
- 2008年
- 采用磁控溅射法低功率在玻璃衬底上制备低功率(LP)过渡层,再在其上高功率生长ZnO薄膜,研究了LP过渡层对薄膜结构性能的影响。XRD和SEM结果表明,引入LP过渡层后,高射频(RF)功率溅射的ZnO薄膜(002)定向性显著改善。随溅射功率的提高,薄膜(002)定向性有所下降,但致密性明显好转。与无过渡层薄膜相比,在溅射功率分别为30 W和50 W过渡层上生长的薄膜晶粒变大。研究表明,在30 W的LP过渡层上用200 W功率制备的薄膜性能最佳。
- 李勇强朱兴文李英伟马季夏义本
- 关键词：ZNO薄膜磁控溅射法
- 高居里温度无铅正温度系数热敏电阻陶瓷的制备方法
- 本发明涉及一种在大气气氛下烧结的高居里温度无铅正温度系数热敏电阻(PTCR)陶瓷的制备方法，属电子陶瓷材料制备工艺技术领域。本发明PTCR陶瓷的化学分子式为x(Bi<Sub>1/2</Sub>Na<Sub>1/2</Su...
- 朱兴文马季姜文中周晓张芳
- 文献传递
- NBT-CaTiO3-BaTiO3系PTC陶瓷研究
- 马季
- 关键词：无铅高居里温度
- 多步磁控溅射法制备ZnO薄膜被引量：1
- 2010年
- 实验采用射频磁控溅射法,通过多次短时沉积和热处理工艺,以玻璃为衬底在不同射频功率下制备了ZnO薄膜,探讨了射频功率对薄膜结构、光及电性能等方面的影响。结果表明,在低于300 W的功率下,采用多步法制备的薄膜表面平整致密,晶粒均匀,具有良好的c轴定向。且薄膜的可见光透过率在80%以上,电阻率达到1010Ω.cm。
- 马季朱兴文徐琼张芳
- 关键词：ZNO薄膜多步法
