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许仲兴
作品数:
36
被引量:1
H指数:1
供职机构:
上海交通大学
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
电气工程
电子电信
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合作作者
成宇翔
上海交通大学微纳米科学技术研究...
张卫平
上海交通大学微纳米科学技术研究...
陈文元
上海交通大学微纳米科学技术研究...
张弓
上海交通大学微纳米科学技术研究...
唐健
上海交通大学
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张弓
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陈文元
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张卫平
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成宇翔
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许仲兴
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唐健
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压电圆盘微机械陀螺
本发明公开一种压电圆盘微机械陀螺,包括:一个具有支撑柱的圆盘谐振子;驱动电极、检测电极、监测电极和平衡电极各三个。所述三个驱动电极、三个检测电极、三个监测电极和三个平衡电极分别沿圆盘谐振子端面一周分布配置。本发明利用圆盘...
张卫平
许仲兴
关冉
张弓
成宇翔
陈文元
吴校生
刘武
崔峰
文献传递
摇动质量块压电双轴微陀螺
本发明涉及一种微机电技术领域的摇动质量块压电双轴微陀螺,它包括一个摇动质量块谐振子,支撑摇动质量块的基板,四个与基板边方向平行且具有间隙的驱动电极,四个与基板边方向平行检测电极。本发明利用摇动质量块谐振子的特殊振动模态,...
张卫平
许仲兴
关冉
张弓
成宇翔
陈文元
吴校生
刘武
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静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
本发明提供了一种静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,所述陀螺包括不带释放孔的圆盘振子、基板、圆柱形的支撑柱、驱动电极、检测电极和公共电极,其中:所述圆盘振子通过所述支撑柱固定于所述基板上,所述圆盘振子垂直于...
张卫平
成宇翔
许仲兴
唐健
张弓
陈文元
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圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法
本发明公开一种圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法,包括:基底;金属圆锥环谐振子;设在金属圆锥环谐振子的内壁上的压电薄膜,该压电薄膜含有驱动电极;两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的检测电极;两个均布于金属圆锥环谐振子圆...
张卫平
许仲兴
成宇翔
关冉
张弓
唐健
陈文元
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管脚式压电固体波动模态匹配陀螺
本发明提供了一种管脚式压电固体波动模态匹配陀螺,包括一个顶面为正方形的长方体谐振子、一个当中镂空的回柱形框架、四根连接长方体谐振子和回柱形框架的细梁、两个对称分布于长方体谐振子顶面中央的驱动电极、四个对称分布于长方体谐振...
张卫平
汪濙海
刘亚东
成宇翔
唐健
张弓
许仲兴
孙殿竣
陈文元
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摇动质量体声波固体波动微陀螺驱动与检测电路
本发明提供了一种摇动质量体声波固体波动微陀螺驱动与检测电路,包括嵌入式核心部分、外围电路部分、摇动质量体声波固体波动微陀螺部分和计算机显示部分,其中:嵌入式核心部分连接外围电路部分,再连接摇动质量体声波固体波动微陀螺部分...
张卫平
张弓
汪濙海
成宇翔
许仲兴
唐健
陈文元
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圆环波动微机械陀螺及其制备方法
本发明公开一种圆环波动微机械陀螺及其制备方法,包括:基底;金属圆环谐振子;位于所述金属圆环谐振子内的基底上的压电薄膜;两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的检测电极;两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的平衡电极;以及四...
张卫平
许仲兴
成宇翔
关冉
张弓
唐健
陈文元
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摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺
本发明公开一种摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺,包括:一个压电圆盘,一个摇摆质量体,四个电极以及一个固定夹紧装置。其中电极又包括:两个检测电极和两个驱动电极。所述摇摆质量体位于压电圆盘中心直立固定,所述四个电极沿...
张卫平
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唐健
成宇翔
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石英压电陀螺仪的开环驱动控制系统及控制方法
本发明提供了一种石英压电陀螺仪的开环驱动控制系统及控制方法,包括计算机控制模块、DDS驱动电路模块、石英压电陀螺仪模块和检测电路模块,计算机控制模块为DDS驱动电路模块进行对驱动信号波形、幅值、频率、相位的设定;DDS驱...
张卫平
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压电圆盘微机械陀螺
本发明公开一种压电圆盘微机械陀螺,包括:一个具有支撑柱的圆盘谐振子;驱动电极、检测电极、监测电极和平衡电极各三个。所述三个驱动电极、三个检测电极、三个监测电极和三个平衡电极分别沿圆盘谐振子端面一周分布配置。本发明利用圆盘...
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