2024年11月22日
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张卫平
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617
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H指数:11
供职机构:
上海交通大学
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国家自然科学基金
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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合作作者
陈文元
微米纳米加工技术国家重点实验室...
崔峰
上海交通大学电子信息与电气工程...
刘武
上海交通大学电子信息与电气工程...
吴校生
微米纳米加工技术国家重点实验室...
唐健
上海交通大学
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张卫平
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陈文元
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崔峰
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刘武
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吴校生
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唐健
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悬浮式反磁敏感质量微型加速度计
一种微机电技术领域悬浮式反磁敏感质量微型加速度计。本发明由上定子,转子和下定子构成,通过对永磁材料制备的上、下定子公共电容极板结构的四个扇形区以及上、下定子检测Z轴方向线加速度和绕X、Y轴的角加速度的电容极板充磁,同时采...
张卫平
张忠榕
陈文元
刘武
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摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺
本发明公开一种摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺,包括:一个压电圆盘,一个摇摆质量体,四个电极以及一个固定夹紧装置。其中电极又包括:两个检测电极和两个驱动电极。所述摇摆质量体位于压电圆盘中心直立固定,所述四个电极沿...
张卫平
张弓
唐健
成宇翔
许仲兴
陈文元
汪濙海
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一种圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺及其制备方法
本发明提供了一种圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺及其制备方法,包括一个基底;一个圆盘多环内双梁孤立圆环谐振器,包含中央圆柱、多个双梁孤立圆环和多个同心圆环,其中:中央圆柱与所述基底相连,同心圆环之间通过多个辐条相连,多个双...
张卫平
朱甲强
唐健
邢亚亮
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反磁转子电磁感应驱动微型陀螺仪
一种微机电技术领域的反磁转子电磁感应驱动微型陀螺仪。本发明由上定子,转子和下定子构成,采用上、下定子螺旋线圈结构作电磁感应旋转驱动,通过对永磁材料制备的上、下定子公共电容极板结构的四个边缘弧形区以及上、下定子检测Z轴方向...
张卫平
张忠榕
陈文元
刘武
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流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪
一种微机电系统领域的流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪,包括:转子、定子、挠性梁,转子由旋转驱动线圈、挠性补偿硬磁圆环、绝缘层、角动量层构成,而角动量层又由基体和注有金属流体的环形腔体构成。定子包括第一基...
张卫平
陈文元
周海军
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MEMS计算机安全开启装置
一种属于信息安全技术领域的MEMS计算机安全开启装置,本发明包括:PCI接口控制器、PCI配置存储器、程序存储器、数据存储器、MEMS微马达控制器和MEMS密码鉴码器,程序存储器与PCI接口控制器相连,PCI接口控制器通...
陈文元
李胜勇
张卫平
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基于轮腿式复合机构的微小型步行机器人
一种基于轮腿式复合机构的微小型步行机器人,属于微机电技术领域。本发明包括:机架、前轴和后轴、前腿、和后腿、以及齿轮传动机构,前腿、和后腿、采用轮腿式复合机构,四条腿分成左右两排并列分布,齿轮传动机构为直流电机通过第一直齿...
陈文元
曹雯
张卫平
彭松林
左德参
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外套电极的半球谐振陀螺
本发明提供了一种外套电极的半球谐振陀螺,包括:一个正方体基体、一个半球谐振体、八个内部电极、一个位于正方体基体中的空腔、一个外套电极基体、八个外套电极和一个位于外套电极基体中的空腔,其中:半球谐振体的八个内部电极和八个外...
张卫平
汪濙海
唐健
刘亚东
成宇翔
孙殿竣
陈文元
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基于压电驱动的高精度微型旋转电机
本发明提供一种基于压电驱动的高精度微型旋转电机,包括电机外壳、压电驱动器、压电驱动器固定件、传动平台、位移放大机构以及输出机构;所述压电驱动器采用产生双向力的电压驱动压电双晶片作为驱动器,在电信号的作用下,所述压电驱动器...
张卫平
寻之宇
邹阳
周岁
魏志方
李一帆
陈畅
唐健
欧彬
刘朝阳
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压电驱动电容检测微固体模态陀螺
<B>本发明公开一种微机电技术领域的压电驱动电容检测微固体模态陀螺,其中弹性微振子、参考振动感应电极、科氏力感应电极都是通过下表面固定,压电驱动电极位于弹性微振子上表面,和弹性微振子形成固定联结,参考振动感应电极、科氏力...
吴校生
王铮
胡小骏
陈文元
张卫平
崔峰
刘武
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