刘武
- 作品数：197 被引量：166H指数：6
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信文化科学更多>>
- 磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺
- 一种微机电技术领域的磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺，上定子上设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层，两层绝缘支撑层设置在介磁材料层的上下表面，电极层设置在一个绝缘支撑层的外表面，环形线圈层设置在另一个绝缘材料...
- 张卫平陈文元刘武赵小林
- 文献传递
- MEMS微陀螺仪研究进展
- 随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，...
- 成宇翔张卫平陈文元崔峰刘武吴校生
- 关键词：MEMS
- 基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作被引量：2
- 2017年
- 提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应。最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品。
- 朱甲强张卫平唐健邢亚亮孙殿竣吴校生崔峰刘武成宇翔赵万良
- 关键词：阳极键合MEMS工艺
- 磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现被引量：8
- 2006年
- 介绍了一种新型磁悬浮转子微陀螺的电容检测方案,其特点是检测定子上径向分布的电容极板和悬浮转子形成差动电容的变化。检测电路为基于相关检测原理的交流电容电桥的方法。电路实现中采用积分电荷放大器作为前置级,对其输出和噪声进行了深入的分析。之后,前置级的输出信号经过低噪声放大器进行放大,再通过带通滤波以及相关解调等电路实现检测系统需要的输出幅值和信噪比。实验证明,实现的检测系统对角度输入有较好的线性响应,角度分辨率达到0.1,°即可检测到的电容变化约为1 fF。
- 刘武黄晓刚邵诗逸陈文元张卫平
- 关键词：电容检测相关解调磁悬浮微陀螺微电子机械系统
- 电磁悬浮转子微陀螺悬浮稳定性分析(英文)
- 2008年
- 电磁悬浮转子微陀螺(MGELR)是一种新型的角速率传感器,它和传统机械陀螺具有相同的工作机理。MGELR有望成为具有高精度的微陀螺。对于MGELR来说,转子的稳定悬浮是极为重要的。文中对微转子的稳定悬浮进行了全面的研究。详细分析并给出线圈、转子直径、电流幅值、悬浮高度等因素对微转子悬浮稳定性的影响。文中提出边界效应理论来解释微转子偏心所带来的侧向力。试验结果进一步论证了分析的正确性。文章最后得出稳定悬浮所应满足的条件。文章的研究内容为MGELR的结构设计提供理论基础。
- 吴校生陈文元张卫平黄晓刚刘武崔峰
- 关键词：微陀螺稳定性转子
- 电极可重复使用的PCR芯片
- 一种生物微机电系统技术领域的电极可重复使用的PCR芯片，由上而下包括电极芯片和反应腔室芯片两部分，并通过导热硅脂薄层贴合而成，其中：腔室芯片包括设置有腔室结构的聚合物盖片和上基板，电极芯片包括绝缘钝化层、金属加热与传感电...
- 崔峰陈伟曹井通陈文元张卫平吴校生刘武郭兆鑫
- 文献传递
- 用于PCR扩增的可更换部件的功能模块
- <B>本发明公开一种用于PCR扩增的可更换部件的功能模块，其中：以可更换的微流控玻璃片为主要反应区域，以外界泵入的恒温流体到液控恒温玻璃片为各温区热源，通过流体进出玻璃片与外界进行试剂交换，以中转的流体通道的结构侧柱为固...
- 张卫平伍择希陈文元陈俊杰李金凤吴校生崔峰刘武
- 锥齿轮四翼式扑翼微型飞行器
- 一种锥齿轮四翼式扑翼微型飞行器，包括：两对扑动机构、机架和电机驱动组件。扑动机构包含一个主动锥齿轮和两个从动锥齿轮以及四连杆机构，主动锥齿轮固定于机架底部中央，两个从动锥齿轮位于机架前后两侧分别与主动锥齿轮啮合并带动四连...
- 张卫平谭小波柯希俊陈文元邹才均刘武崔峰吴校生
- 文献传递
- 压电微固体模态陀螺的安装技术被引量：2
- 2015年
- 压电微固体模态陀螺(PMMG)利用压电PZT长方体的某高阶共振模态作为参考振动,是一种抗冲击、抗震动能力强的新型全固态陀螺。获得优化的参考振动振型对提高陀螺性能至关重要,但是大多数文献都没有涉及到封装对参考振动的影响。利用有限元方法(FEM)分析了压电振子安装时支撑点位置与接触面积对参考振动的影响,分析结果表明:相对于接触面积的变化,支撑点位置的变化对陀螺参考模态的影响更大。该研究结果为压电微固体模态陀螺的安装方法提供了理论基础。
- 韦念吴校生刘武陈文元崔峰张卫平
- 关键词：有限元方法压电陀螺
- 压电基体微固体模态谐振式爆炸物探测器
- 本发明公开一种压电基体微固体模态谐振式爆炸物探测器，其中：压电基体上下表面的左右两侧分布有驱动电极和参考电极、加热电阻、绝缘层和吸附膜，这些部分在压电基体上下表面的左右两侧完全对称，在吸附膜的左右两侧布置驱动电极和参考电...
- 吴校生郑福陈文元张卫平崔峰刘武
- 文献传递
