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吴校生

作品数:175 被引量:190H指数:7
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金上海市浦江人才计划项目更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信机械工程文化科学更多>>

文献类型

  • 121篇专利
  • 45篇期刊文章
  • 5篇会议论文
  • 2篇科技成果

领域

  • 29篇自动化与计算...
  • 21篇电子电信
  • 9篇机械工程
  • 9篇文化科学
  • 6篇航空宇航科学...
  • 4篇电气工程
  • 4篇交通运输工程
  • 4篇理学
  • 1篇核科学技术
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 78篇陀螺
  • 35篇电极
  • 35篇微机电系统
  • 35篇机电系统
  • 35篇电系统
  • 30篇模态
  • 28篇微机电系统技...
  • 27篇微陀螺
  • 25篇磁悬浮
  • 20篇振动
  • 20篇微机电技术
  • 19篇传感
  • 17篇压电
  • 16篇转子
  • 16篇封装
  • 14篇真空封装
  • 14篇陀螺仪
  • 14篇感器
  • 13篇电磁
  • 12篇电磁力

机构

  • 173篇上海交通大学
  • 2篇中国科学院
  • 1篇中科芯集成电...

作者

  • 173篇吴校生
  • 158篇陈文元
  • 135篇张卫平
  • 106篇崔峰
  • 89篇刘武
  • 24篇赵小林
  • 12篇关冉
  • 12篇郑福
  • 9篇孙永明
  • 9篇谭小波
  • 9篇卢奕鹏
  • 8篇刘凯
  • 7篇柯希俊
  • 7篇李洪谊
  • 7篇迟鹏程
  • 7篇陈宏海
  • 7篇孟坤
  • 6篇李栋
  • 6篇胡小骏
  • 6篇张弓

传媒

  • 6篇半导体光电
  • 5篇传感器与微系...
  • 4篇微纳电子技术
  • 3篇上海交通大学...
  • 3篇机械设计与研...
  • 3篇仪表技术与传...
  • 3篇传感技术学报
  • 3篇电子器件
  • 2篇功能材料与器...
  • 2篇压电与声光
  • 2篇中国惯性技术...
  • 2篇第五届全国微...
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇传感器技术
  • 1篇电测与仪表
  • 1篇电子世界
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇机器人
  • 1篇微处理机
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 4篇2020
  • 7篇2019
  • 2篇2018
  • 5篇2017
  • 7篇2016
  • 11篇2015
  • 7篇2014
  • 21篇2013
  • 27篇2012
  • 16篇2011
  • 11篇2010
  • 15篇2009
  • 7篇2008
  • 8篇2007
  • 7篇2006
  • 4篇2005
  • 5篇2004
  • 4篇2003
175 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于FPGA的矢量信号分析系统设计与测试被引量:5
2019年
现场可编程门阵列(FPGA)微谐振器等微机电系统(MEMS)器件中,大多处理电路需要同时获取被测信号的幅值和相位信息的要求,提出了一种基于FPGA的矢量信号分析系统完整的设计方案,开发了一种廉价的、便于系统集成的矢量信号分析系统。设计模块化的硬件电路,利用FPGA程序来实现矢量信号的分析。经过实验测试,获得的矢量信号分析系统具有良好的线性度、高精度、低误差等诸多特性,可以方便、准确地对被测信号进行矢量分析,满足MEMS器件的应用需求。
叔晟竹吴校生王振瑜
关键词:微机电系统现场可编程门阵列
压电驱动电容检测微固体模态陀螺
<B>本发明公开一种微机电技术领域的压电驱动电容检测微固体模态陀螺,其中弹性微振子、参考振动感应电极、科氏力感应电极都是通过下表面固定,压电驱动电极位于弹性微振子上表面,和弹性微振子形成固定联结,参考振动感应电极、科氏力...
吴校生王铮胡小骏陈文元张卫平崔峰刘武
文献传递
基于LabVIEW的PCR芯片温度控制系统被引量:2
2012年
针对实验室自主研制的胃癌检测PCR芯片,以LabVIEW作为处理核心,以Pt作为加热丝和温度传感器,设计出PCR芯片温度控制系统。介绍了温控系统的硬件、软件和实验调试。系统采用恒流源流经Pt电阻器。当温度变化时,Pt阻值变化,从而电阻器上的电压变化,检测读数,与设定温度比对,采用BANG—BANG与PID控制相结合和预设积分器,实现控温。与其他PCR温控系统相比,该系统升温迅速为1 s,波动范围为±0.5℃。
李金凤张卫平伍择希陈俊杰陈文元吴校生
关键词:LABVIEWPID算法恒流源温度采集
微固体模态陀螺的AGC自激振荡驱动电路
本发明公开一种微固体模态陀螺的AGC自激振荡驱动电路,由电荷放大器、移相器、放大器、带通滤波器和自动增益控制器五部分组成振荡回路。陀螺振动信号首先通过电荷放大器的接收和增强,然后通过移相器将电荷放大器输出的信号进行相位调...
吴校生郑福陈文元张卫平
文献传递
压电式微固体模态陀螺谐振频率自动跟踪电路被引量:3
2019年
压电式微固体模态陀螺振子通过交变电压激振、传感电极感应出电荷。当激励电压频率为某阶振动模态谐振频率时,感应电荷达到最大值。设计了谐振频率自动跟踪电路,使陀螺稳定工作在谐振模态。使用现场可编程门阵列(FPGA)控制直接数字频率合成器(DDS)产生频率精确可调的激励电压,驱动陀螺振子振动。检测谐振点对应的激励电压和感应信号间的相位差,作为反馈信号调节激励电压频率。实验结果表明,当相位差锁定区域处在98.48°~100.27°时,振子感应电极输出信号最大,振子处于谐振状态,实现了振子谐振频率的跟踪锁定。该系统可用于以谐振器为核心器件的振子工作模态锁定与跟踪。
曾小润吴校生
关键词:压电振子相位锁定频率跟踪现场可编程门阵列直接数字频率合成器
MEMS微陀螺仪研究进展
随着MEMS技术的发展,惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点,越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域,航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同,...
成宇翔张卫平陈文元崔峰刘武吴校生
关键词:MEMS
压电型微固体模态陀螺的相位差检测
2010年
压电型微固体模态陀螺是一种利用压电材料制作的新型固态微陀螺,具有高抗冲击、抗震动能力。陀螺主要部分为一压电质量块,研究发现其存在某阶特殊的振动模态作为原振动,通过感应哥氏力将敏感方向上输入的角速度转化为电信号。陀螺上设置有多个电极,各电极在工作状态下输出压电电压信号,通过检测电路测量信号间的相位差分析陀螺状态。TL714高速比较器将正弦信号转换为方波信号,通过TMS320F2812芯片采集数据进行处理,实现了对两路频率范围100kHz~600kHz信号的相位差检测。实验结果验证了该检测方法的有效性。
何程鹄吴校生陈文元张卫平
关键词:微陀螺相位差比较器压电模态
基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作被引量:2
2017年
提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应。最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品。
朱甲强张卫平唐健邢亚亮孙殿竣吴校生崔峰刘武成宇翔赵万良
关键词:阳极键合MEMS工艺
电磁悬浮转子微陀螺悬浮稳定性分析(英文)
2008年
电磁悬浮转子微陀螺(MGELR)是一种新型的角速率传感器,它和传统机械陀螺具有相同的工作机理。MGELR有望成为具有高精度的微陀螺。对于MGELR来说,转子的稳定悬浮是极为重要的。文中对微转子的稳定悬浮进行了全面的研究。详细分析并给出线圈、转子直径、电流幅值、悬浮高度等因素对微转子悬浮稳定性的影响。文中提出边界效应理论来解释微转子偏心所带来的侧向力。试验结果进一步论证了分析的正确性。文章最后得出稳定悬浮所应满足的条件。文章的研究内容为MGELR的结构设计提供理论基础。
吴校生陈文元张卫平黄晓刚刘武崔峰
关键词:微陀螺稳定性转子
电极可重复使用的PCR芯片
一种生物微机电系统技术领域的电极可重复使用的PCR芯片,由上而下包括电极芯片和反应腔室芯片两部分,并通过导热硅脂薄层贴合而成,其中:腔室芯片包括设置有腔室结构的聚合物盖片和上基板,电极芯片包括绝缘钝化层、金属加热与传感电...
崔峰陈伟曹井通陈文元张卫平吴校生刘武郭兆鑫
文献传递
共18页<12345678910>
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