成宇翔
- 作品数:89 被引量:45H指数:3
- 供职机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程电气工程理学更多>>
- 一种分立与环形双电极分布式全角度控制系统
- 本发明提供一种分立与环形双电极分布式全角度控制系统,所述系统包括:谐振陀螺、分立电极、环形电极、前置级模块、角度输出模块、振幅控制模块、频率控制模块和正交控制模块;本发明实现谐振陀螺驱动信号的实时锁频以及智能调幅、调相功...
- 张卫平刘朝阳欧彬唐健寻之宇周岁王晨阳崔峰赵万良成宇翔刘瑞鑫
- 一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法
- 本发明提供了一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法,所述陀螺包括一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子、一个支撑半球壳式中央谐振子的支撑柱、八个通过离子掺杂形成的电极,其中八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置,...
- 张卫平刘亚东唐健汪濙海成宇翔孙殿竣陈文元
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- 电磁驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
- 本发明涉及一种电磁驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,包括:一个不带释放孔的圆盘振子,与一个圆柱形的支撑柱,以及分布于基板上的与谐振子有一定间隙的电磁驱动线圈、检测电极和公共电极。该微陀螺的制作方法采用MEMS...
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- 导轨滑块型圆盘式微机械固体波动陀螺封装装置及方法
- 本发明提供了一种导轨滑块型圆盘式微机械固体波动陀螺封装装置及方法,包括:一个矩形底座、两个直线导轨、两个滑块、两个顶部固定块、一个单独的支撑架、两个夹具以及若干螺钉,两个直线导轨固定在矩形底座上且相隔一定距离;两个滑块分...
- 张卫平刘亚东邹阳成宇翔许仲兴唐健张弓汪濙海孙殿竣陈文元
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- 一种微型吹塑半球谐振器陀螺及其制备方法
- 本发明提供了一种微型吹塑半球谐振器陀螺及其制备方法,陀螺包括一个具有上表面的长方形基底,基底中心部分为一个圆柱形空腔,圆柱形空腔的正上方是一个半球谐振体,半球谐振体的边缘键合在基底的上表面,且边缘有两层梯状以引出电极线;...
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- 下凹环形压电谐振陀螺仪及其制作方法
- 本发明提供了一种下凹环形压电谐振陀螺仪及其制作方法,包括:基底、基底上中心位置周围的空环形腔、在基底上的下凹环形压电谐振体、固定在基底上对下凹环形谐振体起支撑作用的支撑柱以及其上的电极、在下凹环形谐振体外表面上呈对称分布...
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- 电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
- 本发明提供一种电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,包括不带释放孔的圆盘振子,圆柱形的支撑柱,基板,电磁驱动线圈、电磁检测线圈和隔离电极,圆盘振子通过圆柱形的支撑柱固定在基板上,且圆盘振子垂直于基板的z轴;电...
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- 一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
- 本发明提供了一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法,包括一个单晶硅基底、一个中心固定支撑柱、一个微型半球谐振子、一个公共电极、八个薄膜压电体、八个均匀分布式信号电极,其中:单晶硅基底与微型半球谐振子通过中心固...
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- 摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺被引量:1
- 2014年
- 提出了一种新型的摇动质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺。该种陀螺,在结构上采用完全对称的圆盘式结构,在原理上,利用压电体声波的简并模态,而且摇动质量又增强体声波驱动和敏感效应,再由柯氏效应,获得输入角速度。文章介绍了结构,原理,同时又利用仿真分析,优化了参数,给出了该陀螺可有效工作在25 172.8 Hz的体声波二波腹模式下,频率分裂184.6 Hz,具有陀螺效应,仿真得到灵敏度为1.81μV/rad/s。最后,利用MEMS技术,对微陀螺进行了实际加工,并得到了样品。
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- 关键词:压电体声波灵敏度
- 摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺
- 本发明公开一种摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺,包括:一个压电圆盘,一个摇摆质量体,四个电极以及一个固定夹紧装置。其中电极又包括:两个检测电极和两个驱动电极。所述摇摆质量体位于压电圆盘中心直立固定,所述四个电极沿...
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