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利阳

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇氧化层
  • 2篇离子
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 2篇剥落
  • 2篇超薄
  • 2篇超薄氧化
  • 2篇超薄氧化层
  • 1篇离子注入

机构

  • 2篇中国航天科技...

作者

  • 2篇张思申
  • 2篇付鹏
  • 2篇汪小军
  • 2篇李宁
  • 2篇利阳

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种能够防止离子注入区边界硅棱剥落的离子注入方法
本发明公开了一种能够防止离子注入区边界硅棱剥落的离子注入方法，包括以下步骤：首先对硅片表面进行处理，使硅片表面生长氧化层；然后硅片上涂覆光刻胶；接着对硅片进行离子注入；最后去除硅片表面的光刻胶。本发明通过对硅片表面进行处...
李宁付鹏张思申利阳汪小军
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一种能够防止离子注入区边界硅棱剥落的离子注入方法
本发明公开了一种能够防止离子注入区边界硅棱剥落的离子注入方法，包括以下步骤：首先对硅片表面进行处理，使硅片表面生长氧化层；然后硅片上涂覆光刻胶；接着对硅片进行离子注入；最后去除硅片表面的光刻胶。本发明通过对硅片表面进行处...
李宁付鹏张思申利阳汪小军
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