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张佼佼
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杭州士兰集成电路有限公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李小锋
杭州士兰集成电路有限公司
杨彦涛
杭州士兰集成电路有限公司
杨锐
杭州士兰集成电路有限公司
何金祥
杭州士兰集成电路有限公司
李小峰
杭州士兰集成电路有限公司
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双极PNP晶体管
本实用新型提供了一种双极PNP晶体管,包括:衬底;形成于所述衬底上的外延层;形成于所述外延层中的深磷区、基区、集电区和发射区;形成于所述外延层上的第一层间介质层和电压调变介质层;形成于所述第一层间介质层和电压调变介质层上...
李小锋
张佼佼
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文献传递
Bipolar电路的一种引线孔结构及制造方法
Bipolar电路的引线孔结构制造方法为:(1)在设有极区的硅基底上形成底层氧化硅薄膜层;(2)在底层氧化硅薄膜层上淀积形成顶层氧化硅薄膜层;(3)在顶层氧化硅薄膜层上淀积氮化硅薄膜层;(4)对氮化硅薄膜的预刻蚀区域进行...
李小锋
陈元金
杨彦涛
张佼佼
一种双极电容结构
本实用新型提供一种双极电容结构,包括在提供的半导体衬底上淀积第一介质层,半导体衬底的外延层中形成有掺杂的深磷、第一类掺杂区、第二类掺杂区和上隔离;将接触孔图形及电容窗口图形合并到同一掩膜版上进行刻蚀,在形成的各层次上的第...
张佼佼
李小锋
杨彦涛
肖金平
王铎
文献传递
双极NPN晶体管及其制造方法
本发明提供了一种双极NPN晶体管及其制造方法,包括:衬底;形成于衬底上的外延层;形成于外延层中的集电区、淡基区、浓基区和发射区;形成于外延层上的第一层间介质层和电压调变介质层;形成于第一层间介质层和电压调变介质层上的第一...
李小锋
张佼佼
何金祥
杨锐
文献传递
一种双极电路的制造方法
本发明提供一种双极电路的制造方法,包括在提供的半导体衬底上淀积第一介质层,半导体衬底的外延层中形成有掺杂的深磷、第一类掺杂区、第二类掺杂区和上隔离;将接触孔图形及电容窗口图形合并到同一掩膜版上进行刻蚀,在形成的各层次上的...
张佼佼
李小锋
杨彦涛
肖金平
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半导体器件及其制备方法
本发明揭示了一种半导体器件,包括:衬底,所述衬底具有至少一第一埋层窗口和至少一第二埋层窗口;阻挡层,位于所述第一埋层窗口上;保护层,位于所述阻挡层旁的所述衬底上;中间层,位于所述第一外延层上,所述保护层的上表面和所述阻挡...
杨彦涛
李小峰
王平
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双极电路的一种引线孔结构及制造方法
双极电路的一种引线孔结构制造方法为:(1)在设有极区的硅基底上形成底层氧化硅薄膜层;(2)在底层氧化硅薄膜层上淀积形成顶层氧化硅薄膜层;(3)在顶层氧化硅薄膜层上淀积氮化硅薄膜层;(4)对氮化硅薄膜的预刻蚀区域进行光刻、...
李小锋
陈元金
杨彦涛
张佼佼
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一种双极电路的制造方法
本发明提供一种双极电路的制造方法,包括在提供的半导体衬底上淀积第一介质层,半导体衬底的外延层中形成有掺杂的深磷、第一类掺杂区、第二类掺杂区和上隔离;将接触孔图形及电容窗口图形合并到同一掩膜版上进行刻蚀,在形成的各层次上的...
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双极PNP晶体管及其制造方法
本发明提供了一种双极PNP晶体管及其制造方法,包括:衬底;形成于所述衬底上的外延层;形成于所述外延层中的深磷区、基区、集电区和发射区;形成于所述外延层上的第一层间介质层和电压调变介质层;形成于所述第一层间介质层和电压调变...
李小锋
张佼佼
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双极NPN晶体管
本实用新型提供了一种双极NPN晶体管,包括:衬底;形成于衬底上的外延层;形成于外延层中的集电区、淡基区、浓基区和发射区;形成于外延层上的第一层间介质层和电压调变介质层;形成于第一层间介质层和电压调变介质层上的第一互连线;...
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