王海珍
- 作品数：15 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国航空工业集团公司中国空空导弹研究院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学军事自动化与计算机技术更多>>
- 双色滤光片光刻剥离技术研究
- 2008年
- 文中利用聚酰亚胺高聚物的耐温性和高粘度性,巧妙地和光刻胶结合,解决了厚膜镀制中光刻胶炭化难以剥离的问题;利用聚酰亚胺在碱性显影液中有很好的可溶性,优化了光刻胶和聚酰亚胺的厚度比,得到了好的工艺参数和易于剥离的面形,解决了小图形光刻剥离的难题。
- 王海珍何英杰苏现军
- 关键词：聚酰亚胺
- InSb焦平面探测器背面钝化的研究被引量：3
- 2009年
- 对N型(111)面的InSb衬底采用两种方法进行钝化处理;一种是直接溅射ZnS,另一种是先用(NH4)2S化学硫化,然后溅射ZnS。C-V测试和器件性能测试表明,在(NH4)2S溶液中进行化学硫化的方法能有效改善ZnS/InSb的界面,这种方法能满足InSb焦平面器件的使用性能。本文还对不同的硫化方法及实验条件进行了对比实验。
- 傅月秋王海珍郑克霖
- 关键词：ZNS硫化
- 聚酰亚胺涂料在微细加工中的应用
- 阐述了聚酰亚胺涂料不同与常规材料的物理及化学特性,并利用其独特的性质将其应用在红外焦平面器件中的铟柱制备及微型金属杜瓦瓶用薄膜电缆制作中,通过实验解决了工艺中的难题,取得很好的效果。
- 王海珍陈程远何英杰刘虹波
- 关键词：亚胺化焦平面器件
- 文献传递
- 焦平面探测器ZnS增透技术研究被引量：1
- 2009年
- 在InSb焦平面探测器(FPA)制造中,InSb芯片背面经磨抛减薄后需要在表面镀制增透膜,增大InSb芯片对红外光的吸收。本文介绍了采用磁控溅射方法镀制不同厚度的ZnS膜,测量其光谱透过率及反射率,利用红外焦平面测试系统比较了ZnS膜和SiO膜的增透效果,结果表明磁控溅射的ZnS膜具有更优的增透效果和均匀性。
- 郑克霖傅月秋王海珍
- 关键词：ZNS增透磁控溅射
- 叠层器件的低应力底部填充方法
- 本发明公开了一种叠层器件的低应力底部填充方法，包括以下步骤：(1)环氧胶的选取；(2)消除环氧胶混合时产生的气泡；(3)对叠层器件进行施胶；(4)环氧胶的固化，分两阶段：a)环氧胶的硬化成型阶段；b)环氧胶的强化固化阶段...
- 曹光明耿东峰蒲季春苏宏毅王海珍徐淑丽张向锋
- 文献传递
- Co/BaTiO3纳米复合薄膜的PLD法制备及其Raman光谱被引量：3
- 2008年
- 采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术在MgO(100)衬底上生长了Co/BaTiO3纳米复合薄膜,利用原子力显微镜、透射电镜、X射线衍射(XRD)及Raman光谱等测试分析手段对Co/BaTiO3纳米复合薄膜进行测试分析。结果表明:薄膜表面均匀、致密,具有原子尺度的光滑性;Co纳米晶粒呈单分散、均匀分散在沿C轴呈单取向生长的BaTiO3单晶基体中;随着掺杂Co含量的增高,BaTiO3的Raman峰的峰强随之增大。
- 何英杰吴卫东李俊王海珍
- 关键词：拉曼光谱
- 叠层器件的低应力底部填充方法
- 本发明公开了一种叠层器件的低应力底部填充方法，包括以下步骤：(1)环氧胶的选取；(2)消除环氧胶混合时产生的气泡；(3)对叠层器件进行施胶；(4)环氧胶的固化，分两阶段：a)环氧胶的硬化成型阶段；b)环氧胶的强化固化阶段...
- 曹光明耿东峰蒲季春苏宏毅王海珍徐淑丽张向锋
- 锑化铟的腐蚀特性研究被引量：4
- 2011年
- 研究了不同的腐蚀液对InSb表面及台面腐蚀特性,利用金相显微镜和轮廓仪对样品表面形貌和制作精度进行了表征。通过大量的实验对比,得到一种对InSb有很好腐蚀特性的腐蚀液,腐蚀速度易于控制,晶片腐蚀后的表面比较光滑、均匀;对台面的钻蚀小,提高了台面的制作精度及器件的性能,解决了现有工艺中的难题。
- 何英杰王海珍
- 关键词：湿法腐蚀
- 混成式InSb焦平面器件的湿法倒角技术研究
- 针对焦平面器件在抛光过程中出现的崩边和深划伤问题,通过分析采用了湿法倒角工艺, 并进行了倒角可行性试验、倒角对电极的影响和对电路连通性的影响等实验。结果表明,用湿法倒角技术不仅使 InSb 边缘没有尖锐的角,并且对器件的...
- 徐淑丽王海珍
- 关键词：INSB焦平面器件
- 文献传递
- 64×64元InSb凝视红外焦平面探测器研制被引量：1
- 2001年
- 阐述了InSb凝视红外焦平面器件的结构形成、参数设计以及信号噪声的分析,研究了制造中的技术难点及解决途径,给出了所研制的64×64元InSb凝视红外焦平面探测器的测试结果并进行了分析。
- 龚启兵王海珍王巍张国栋吴伟
- 关键词：结构形式参数设计红外探测器
