何英杰
- 作品数：22 被引量：33H指数：4
- 供职机构：中国航空工业集团公司中国空空导弹研究院更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院横向合作研究课题国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学化学工程机械工程更多>>
- Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析被引量：1
- 2005年
- 采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术制备了Fe/Al 混合膜,测量了该混合膜的光电子能谱(XPS),并采用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)对Fe/Al混合膜作了表面分析。结果表明:Fe/Al混合膜的表面粗糙度对衬底温度有明显的依赖性, 随着衬底温度的升高,薄膜的表面逐渐变得平滑,膜层变得致密,在200 ℃衬底温度下制得了均方根(rms)粗糙度为0.154 nm、具有原子尺度光滑性的Fe/Al混合膜, 膜中Fe和Al分布比较均匀,其成分比约为1∶3,同时XPS分析也表明Fe/Al混合膜暴露在空气中后表面形成了Al2O3 和FeO氧化层。
- 何英杰吴卫东张超李俊许华程新路
- 关键词：衬底温度
- 双色滤光片光刻剥离技术研究
- 2008年
- 文中利用聚酰亚胺高聚物的耐温性和高粘度性,巧妙地和光刻胶结合,解决了厚膜镀制中光刻胶炭化难以剥离的问题;利用聚酰亚胺在碱性显影液中有很好的可溶性,优化了光刻胶和聚酰亚胺的厚度比,得到了好的工艺参数和易于剥离的面形,解决了小图形光刻剥离的难题。
- 王海珍何英杰苏现军
- 关键词：聚酰亚胺
- 一种红外探测器
- 本发明涉及一种红外探测器。红外探测器包括基体以及短波红外光敏芯片、中波红外光敏芯片、芯片支架，中波红外光敏芯片设置于基体上，短波红外光敏芯片通过芯片支架设置于中波红外光敏芯片的上方，且短波红外光敏芯片的感光区域与中波红外...
- 陶飞吕衍秋张向峰何英杰丁佳欣姚官生曹先存李墨张亮朱旭波
- 文献传递
- X射线衍射技术对InSb材料的无损检测
- 运用X射线衍射技术,对InSb材料的结晶质量进行检测,是判定InSb材料质量的重要方法之一。采用2θ-ω对称扫描,对(111)、(333)、(044)不同衍射面进行了ω扫描,得到了InSb不同衍射面之间强度和半峰宽度的规...
- 王武杰赵岚陈慧娟何英杰傅月秋鲁正雄
- 关键词：X射线衍射技术无损探伤半导体材料
- 文献传递
- Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析
- 具有独特的原子和电子结构(有序和无序)的Fe/Al金属间化合物薄膜具有奇特的电、磁、光、磁光等物理性质和热稳定性,在信息功能材料、磁存储器件、集成电路、航空航天等方面有广泛的应用前景而倍受许多研究者的关注。在ICF实验中...
- 何英杰吴卫东程新路张超许华李俊
- 文献传递
- 应力制约的InSb焦平面探测器均匀性
- 采用焦平面探测器均匀性作为衡量 InSb 芯片承受应力的方法,通过工艺改进有效地降低了应力水平,提高了128×128 InSb 焦平面探测器的均匀性,取得了响应非均匀性为3.0%的结果。
- 曹光明耿东峰徐淑丽蒲季春杨雪锋李龙何英杰吴伟张国栋付浩
- 关键词：INSB焦平面探测器应力均匀性
- 文献传递
- 聚酰亚胺涂料在微细加工中的应用
- 阐述了聚酰亚胺涂料不同与常规材料的物理及化学特性,并利用其独特的性质将其应用在红外焦平面器件中的铟柱制备及微型金属杜瓦瓶用薄膜电缆制作中,通过实验解决了工艺中的难题,取得很好的效果。
- 王海珍陈程远何英杰刘虹波
- 关键词：亚胺化焦平面器件
- 文献传递
- 一种InAlSb芯片的制备方法及InAlSb芯片
- 本发明涉及一种InAlSb芯片的制备方法及InAlSb芯片，属于半导体光电探测器制造技术领域。本发明的InAlSb芯片的制备方法包括以下步骤：1)在InAlSb基底上制备掩膜层，在掩膜层上光刻掩膜图形，得图形基底；2)采...
- 陶飞何英杰张向锋李墨彭震宇丁嘉欣姚官生张亮曹先存吕衍秋朱旭波张利学
- 文献传递
- X射线衍射技术对InSb材料的无损检测被引量：1
- 2008年
- 采用2θ-ω对称扫描,对(111)、(333)、(044)不同衍射面进行了ω扫描,得到了InSb不同衍射面之间强度和半峰宽度的规律;对晶片上不同位置进行了同一衍射面的ω扫描,得到半峰宽度的mapping,此外,还对材料进行了倒易空间(RSM)扫描。测试结果表明InSb材料结晶质量完好,均匀性好,符合制造良好光电器件的标准。
- 王武杰赵岚陈慧娟何英杰傅月秋鲁正雄
- 关键词：INSBX射线衍射
- Co/BaTiO3纳米复合薄膜的PLD法制备及其Raman光谱被引量：3
- 2008年
- 采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术在MgO(100)衬底上生长了Co/BaTiO3纳米复合薄膜,利用原子力显微镜、透射电镜、X射线衍射(XRD)及Raman光谱等测试分析手段对Co/BaTiO3纳米复合薄膜进行测试分析。结果表明:薄膜表面均匀、致密,具有原子尺度的光滑性;Co纳米晶粒呈单分散、均匀分散在沿C轴呈单取向生长的BaTiO3单晶基体中;随着掺杂Co含量的增高,BaTiO3的Raman峰的峰强随之增大。
- 何英杰吴卫东李俊王海珍
- 关键词：拉曼光谱
