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黄岳文
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4
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长沙理工大学
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郭长春
长沙理工大学
周艺
长沙理工大学
欧衍聪
长沙理工大学
肖斌
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何文红
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黄燕
年份
4篇
2013
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一种改良的晶硅太阳能电池氮化硅减反膜制备方法
本发明属于晶体硅太阳能电池技术领域,具体涉及一种改良的晶硅太阳能电池减反膜制备方法。传统的制备方法用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备出的SiN<Sub>x</Sub>减反膜由于其相对较高的沉积速率导致了SiN...
周艺
欧衍聪
何文红
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肖斌
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一种多晶硅表面两次酸刻蚀织构的制备方法
本发明公开了一种不同于以往工艺的多晶硅表面两次酸刻蚀织构的制备方法,该方法能够解决硅片腐蚀坑的不均匀现象,进而解决了太阳能电池片在PECVD镀膜后存在的色差问题,优化了太阳电池片的外观。本发明采用了一种两次酸刻蚀织构制备...
周艺
郭长春
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一种改良的多晶硅太阳电池三层SiN减反膜的制备方法
本发明属于晶硅太阳电池技术领域,具体涉及一种改良的多晶硅太阳电池三层SiN减反膜的制备方法。传统方法采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备出的单层SiN减反膜的钝化效果、减反效果及光谱吸收都不能达到最佳。本发明...
周艺
欧衍聪
黄岳文
何文红
郭长春
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一种改良的多晶硅太阳电池变温扩散工艺的方法
本文公开了一种改良的多晶硅太阳电池变温扩散工艺的方法。其过程主要包括以下几个步骤:1)氧化;2)扩散;3)升温;4)深扩散;5)饱和;6)降温。本发明的方法特点是在扩散制结过程中加入一步升温过程,这样可以很有效的控制扩散...
周艺
肖斌
黄岳文
何文红
郭长春
欧衍聪
李荡
黄燕
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