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袁洪涛
作品数:
30
被引量:13
H指数:3
供职机构:
中国科学院物理研究所
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理学
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合作作者
杜小龙
中国科学院物理研究所
薛其坤
中国科学院物理研究所
曾兆权
中国科学院物理研究所
贾金锋
中国科学院物理研究所
梅增霞
中国科学院物理研究所
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1篇
2004
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一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置
本发明公开了一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置,包括固定板、两端开口的热屏蔽套筒、一片以上热屏蔽片、高温加热单元、一端开口的透明隔离罩单元以及衬底放置单元。本发明采用合理物理几何设计结构,能获得不低于1000℃均匀平面温场,...
李含冬
杜小龙
梅增霞
曾兆权
袁洪涛
王喜娜
董靖
张天冲
薛其坤
文献传递
一种高纯材料的高真空原位两步精炼方法
本发明公开了一种高纯以及超高纯材料的高真空原位两步精炼方法,其特点是在高真空条件下利用双加热丝扩散炉独立加热坩锅的上部与下部,从而在不同阶段使坩锅形成上高下低或上低下高的温度分布,然后分两步加热坩锅分别有效去除高饱和蒸汽...
杜小龙
袁洪涛
曾兆权
薛其坤
贾金锋
王喜娜
李含冬
文献传递
一种高纯材料的高真空原位两步精炼方法
本发明公开了一种高纯以及超高纯材料的高真空原位两步精炼方法,其特点是在高真空条件下利用双加热丝扩散炉独立加热坩锅的上部与下部,从而在不同阶段使坩锅形成上高下低或上低下高的温度分布,然后分两步加热坩锅分别有效去除高饱和蒸汽...
杜小龙
袁洪涛
曾兆权
薛其坤
贾金锋
王喜娜
李含冬
文献传递
用于制备高质量氧化锌薄膜的蓝宝石衬底原位处理方法
本发明公开了一种用于制备高质量氧化锌薄膜的蓝宝石衬底原位处理方法,即利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)设备,分三个步骤原位处理蓝宝石衬底,从而为高质量氧化锌薄膜的制备提供一个良好的生长模板的方法。首先在低温下对衬底...
袁洪涛
杜小龙
曾兆权
薛其坤
贾金锋
文献传递
极性ZnO外延薄膜的界面、表面控制生长及其相关物理问题研究
ZnO是一种宽禁带直接带隙II-VI族氧化物半导体材料,其高达60meV的自由激子结合能(GaN为25meV)可望在室温或更高温度下实现高效率的激光发射,这诱人的前景使得ZnO成为近几年来的一个研究热点。由于ZnO中激子...
袁洪涛
关键词:
分子束外延
透射电子显微术
表面活性剂
n-ZnO/p-GaN异质结界面工程
被引量:4
2005年
曾兆权
杜小龙
刘玉资
英敏菊
梅增霞
郑浩
袁洪涛
郭丽伟
贾金锋
薛其坤
张泽
关键词:
ZNO
发光二极管(LED)
异质结
激光二极管
晶格常数
一种在Si(111)衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法
本发明公开了一种在硅(111)衬底上制备高质量氧化锌单晶薄膜的方法,即分五步依次在超高真空环境下热处理硅衬底获得清洁的Si(111)面:1.低温沉积1~10nm厚的金属单晶薄膜如镁、钙、锶、镉等,2.低温氧化金属膜以获得...
杜小龙
王喜娜
曾兆权
袁洪涛
梅增霞
薛其坤
贾金锋
文献传递
一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置
本发明公开了一种用于提炼高纯以及超高纯材料的高真空原位精炼装置,该高真空精炼装置由提炼腔、真空系统、扩散炉、坩锅、进料取料系统、保护气体装置以及工业智能温度控制器通过真空管件、气路以及导线等将各部分连接构成精炼装置整体。...
杜小龙
曾兆权
袁洪涛
薛其坤
贾金锋
李含冬
王喜娜
文献传递
LSAT(111)衬底上ZnO单晶薄膜的分子束外延生长
利用射频等离子体辅助分子束外延(RF-MBE)法,我们在LSAT(111)衬底上制备ZnO单晶薄膜.对比研究了O等离子体预处理以及金属Zn薄层预沉积等不同衬底预处理工艺对ZnO外延膜的生长过程、外延取向关系以及表面形貌的...
英敏菊
杜小龙
梅增霞
曾兆权
周忠堂
郑浩
袁洪涛
周均铭
贾金锋
薛其坤
关键词:
分子束外延生长
文献传递
一种耐活性氧腐蚀的新型高效衬底加热装置
本发明公开了一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置,包括固定板、两端开口的热屏蔽套筒、一片以上热屏蔽片、高温加热单元、一端开口的透明隔离罩单元以及衬底放置单元。本发明采用合理物理几何设计结构,能获得不低于1000℃均匀平面温场,...
李含冬
杜小龙
梅增霞
曾兆权
袁洪涛
王喜娜
董靖
张天冲
薛其坤
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