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曾兆权

作品数：33 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 25篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 2篇学位论文
  • 2篇会议论文

领域

  • 5篇电子电信
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇理学

主题

  • 14篇衬底
  • 10篇氧化锌薄膜
  • 7篇蓝宝
  • 7篇蓝宝石
  • 5篇单晶
  • 5篇单晶薄膜
  • 5篇岛状
  • 5篇电子器件
  • 5篇氧腐蚀
  • 5篇氧化物薄膜
  • 5篇原位
  • 5篇蒸汽压
  • 5篇精炼
  • 5篇光电
  • 5篇光电子
  • 5篇光电子器件
  • 5篇高纯
  • 5篇高纯材料
  • 5篇饱和蒸汽压
  • 5篇超高纯

机构

  • 32篇中国科学院
  • 4篇北京工业大学
  • 2篇曲阜师范大学
  • 1篇清华大学

作者

  • 33篇曾兆权
  • 31篇杜小龙
  • 31篇薛其坤
  • 27篇袁洪涛
  • 25篇贾金锋
  • 22篇梅增霞
  • 13篇郑浩
  • 13篇英敏菊
  • 12篇王喜娜
  • 10篇李含冬
  • 5篇张天冲
  • 5篇张泽
  • 5篇董靖
  • 3篇刘玉资
  • 2篇马丽颖
  • 2篇王勇
  • 2篇郭丽伟
  • 1篇周均铭
  • 1篇孔祥和
  • 1篇贾金峰

传媒

  • 2篇电子显微学报
  • 1篇Journa...
  • 1篇中国科学（G...
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇2005年全...

年份

  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 3篇2008
  • 12篇2007
  • 4篇2006
  • 8篇2005
  • 3篇2004
共 33 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置
本发明公开了一种用于提炼高纯以及超高纯材料的高真空原位精炼装置，该高真空精炼装置由提炼腔、真空系统、扩散炉、坩锅、进料取料系统、保护气体装置以及工业智能温度控制器通过真空管件、气路以及导线等将各部分连接构成精炼装置整体。...
杜小龙曾兆权袁洪涛薛其坤贾金锋李含冬王喜娜
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含三种掺杂剂的p型氧化锌薄膜及其制造方法
本发明公开了一种含三种掺杂剂的氧化锌薄膜及其制造方法，在含锂衬底上依次包括ZnO缓冲层、ZnO外延层和P型ZnO三元共掺层，其中，三元共掺层所包含的三种掺杂剂为：锂、氮、铝或镓。本发明的有益效果为：在含锂衬底上采用高温扩...
杜小龙薛其坤贾金锋曾兆权袁洪涛英敏菊梅增霞郑浩
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一种制备高质量氧化锌单晶薄膜的三缓冲层方法
本发明公开了一种制备高质量氧化锌单晶薄膜的方法，其步骤为：对蓝宝石衬底表面进行预处理，修正和控制蓝宝石衬底的原子结构，以实现ZnO薄膜的单极性、单畴生长；然后采用三缓冲层法制备高质量ZnO薄膜，即首先利用蓝宝石氮化法在表...
杜小龙薛其坤贾金锋梅增霞英敏菊曾兆权郑浩袁洪涛
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一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置
本发明公开了一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置，包括固定板、两端开口的热屏蔽套筒、一片以上热屏蔽片、高温加热单元、一端开口的透明隔离罩单元以及衬底放置单元。本发明采用合理物理几何设计结构，能获得不低于1000℃均匀平面温场，...
李含冬杜小龙梅增霞曾兆权袁洪涛王喜娜董靖张天冲薛其坤
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一种高纯材料的高真空原位两步精炼方法
本发明公开了一种高纯以及超高纯材料的高真空原位两步精炼方法，其特点是在高真空条件下利用双加热丝扩散炉独立加热坩锅的上部与下部，从而在不同阶段使坩锅形成上高下低或上低下高的温度分布，然后分两步加热坩锅分别有效去除高饱和蒸汽...
杜小龙袁洪涛曾兆权薛其坤贾金锋王喜娜李含冬
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在(La,Sr)(Al,Ta)O<Sub>3</Sub>上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法
本发明公开了一种在(La，Sr)(Al，Ta)O<Sub>3</Sub>上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法，其步骤为：对LSAT(111)衬底表面进行低温氧等离子体预处理；然后在超高真空及低温下沉积镁超薄层，再升高衬底温度...
杜小龙薛其坤英敏菊梅增霞曾兆权郑浩
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用于制备高质量氧化锌薄膜的蓝宝石衬底原位处理方法
本发明公开了一种用于制备高质量氧化锌薄膜的蓝宝石衬底原位处理方法，即利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)设备，分三个步骤原位处理蓝宝石衬底，从而为高质量氧化锌薄膜的制备提供一个良好的生长模板的方法。首先在低温下对衬底...
袁洪涛杜小龙曾兆权薛其坤贾金锋
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一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器
本实用新型公开了一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器，它包括：加热丝支撑盘、加热丝和金属箔电极，加热丝支撑盘上分布有具一定几何排布规律绕线孔阵列，加热丝按照一定绕线规则穿过绕线孔阵列绕至支撑盘上，在支撑盘两端边缘对称...
李含冬杜小龙袁洪涛曾兆权张天冲董靖王喜娜梅增霞薛其坤贾金锋
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一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置
本实用新型公开了一种用于提炼高纯以及超高纯材料的高真空原位精炼装置，该高真空精炼装置由提炼腔、真空系统、扩散炉、坩锅、进料取料系统、保护气体装置以及工业智能温度控制器通过真空管件、气路以及导线等将各部分连接构成精炼装置整...
杜小龙曾兆权袁洪涛薛其坤贾金锋李含冬王喜娜
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一种在Si(111)衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法
本发明公开了一种在硅(111)衬底上制备高质量氧化锌单晶薄膜的方法，即分五步依次在超高真空环境下热处理硅衬底获得清洁的Si(111)面：1.低温沉积1～10nm厚的金属单晶薄膜如镁、钙、锶、镉等，2.低温氧化金属膜以获得...
杜小龙王喜娜曾兆权袁洪涛梅增霞薛其坤贾金锋
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