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李肖
作品数:
2
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄子乾
中国电子科技集团公司第五十五研...
朱顺才
中国电子科技集团公司第五十五研...
陈堂胜
中国电子科技集团公司第五十五研...
焦刚
中国电子科技集团公司第五十五研...
沈浩赢
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作者
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李肖
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陈堂胜
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黄子乾
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1篇
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InGaAs PIN探测器用MOCVD微结构材料
黄子乾
李肖
张岚
朱顺才
沈浩赢
该项目研究开发了INGaAs PIN探测器MOCVD外延片生长技术,在国内率先解决了高纯的INGaAs、InGaAsP及InP材料的生长技术;厚外延层材料生长技术;多片均匀性控制技术三项关键技术的研究。 材料的技术指标:...
关键词:
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INGAAS
PIN探测器
MOCVD
微结构材料
利用硼离子注入法实现氮化物半导体器件的有源区之间隔离的方法
本发明针对现有的氮化物半导体器件所采用的台面电学隔离方法存在的因台面高度而影响互连线的连接及器件成品率的问题,发明一种利用硼离子注入法实现氮化物半导体器件有源区之间隔离的方法,步骤包括:在AlGaN/GaN异质结上形成源...
陈堂胜
焦刚
李肖
任春江
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